판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML 700 Series #9249212

SVG / PERKIN ELMER / ASML 700 Series
ID: 9249212
웨이퍼 크기: 5"
Mask aligners, 5", parts machines.
SVG/PERKIN ELMER/ASML 700 Series Mask Aligner는 반도체 제조에 사용되는 고급 기술입니다. 이 장비는 고급 (advanced) 기술을 사용하여 고밀도 집적회로를 만들기 위해 기판에 포토마스크를 정렬합니다. 마스크 정렬기에는 투영 광학 (projection optics) 과 기판 단계 (substrate stage) 의 두 가지 주요 컴포넌트가 있습니다. 투영 광학 (projection optics) 은 마스크에서 기판으로 이미지를 투영하는 역할을 하며, 기판 단계 (substrate stage) 는 공정이 발생할 기판을 배치합니다. 프로젝션 광학에는 초단파 펄스 레이저, 쿼드 셀 광학 (quad cell optics) 및 이미지 출력 스티칭 시스템 (image output stitching system) 을 포함한 다양한 기능이 있습니다. Optics에는 최대 0.2 미크론 해상도와 빠른 이미징 속도를 갖춘 뛰어난 이미징 기능이 있습니다. 기판 단계에는 5 축 스테이지 유닛, XY 및 Z 레이저 간섭 측정, 자동 초점 기계 등 다양한 기능이 있습니다. 이러한 기능은 미세 피쳐 정렬을 위한 정확성과 유연성을 제공합니다. "스테이지 '는 또한 전동화 되며, 기판 의 정밀 한 위치 와 정렬 을 달성 하기 위하여 전" 모오션' 을 갖추고 있다. 마스크 정렬기는 안전을 염두에두고 설계되었으며 레이저 라이트 커튼, 듀얼 광섬유 안전 릴레이, E-STOP 등 고급 안전 기능을 갖추고 있습니다. 즉, 공구가 작동이 안전하고 작동 중 발생한 사고를 방지할 수 있습니다. SVG 700 Series Mask Aligner 는 강력한 기술로, 주기 시간을 증가시켜 피치 (fine-pitch) 장치를 제작할 수 있습니다. 고급 기능과 정밀도를 통해 고품질의 고밀도 회로를 만들 수 있습니다. 이 자산은 마이크로프로세서 (microprocessor), 메모리 (memory), 논리 장치 생산 (logic device production) 과 같은 반도체 장치 구성 응용 프로그램에 사용하기에 적합합니다.
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