판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML 661 #9107715

SVG / PERKIN ELMER / ASML 661
ID: 9107715
웨이퍼 크기: 6"
Mask aligner, 6".
SVG/PERKIN ELMER/ASML 661 마스크 정렬기는 정확도가 높은 박막 레이어에 패턴을 정확하게 정렬하는 데 사용되는 도구입니다. 주로 반도체 산업의 사진 분석 프로세스에 사용됩니다. SVG 661에는 고해상도 스테퍼 모터 (stepper motor) 와 내장 공구 포지셔닝 시스템 (Tool Positioning System) 이 있어 하위 미크론 수준까지 정확한 패턴 정렬이 가능합니다. ASML 661 (ASML 661) 은 견고한 프레임과 안정적인 베이스를 가지고 있으며, 필름에 패턴을 정확하게 정렬하여 매우 정확합니다. 임의의 수준의 패턴 주파수에 도달 할 수있는 능력으로, 661은 높은 수준의 나노 (nanofabrication) 에 적합합니다. 높은 반복성을 가진 PERKIN ELMER 661은 단일 필름에서 여러 패턴을 생성하는 데에도 적합합니다. SVG/PERKIN ELMER/ASML 661은 광학 뷰파인더를 사용하여 패턴을 정렬합니다. 번역 단계가 내장되어 있어 패턴을 정확하게, 반복적으로 이동할 수 있습니다 (예: '% 1'). 마스크 정렬자에는 깊이 조정을위한 Z축도 있습니다. 스테이지 (stage) 는 필요할 때 매우 낮은 프로파일 레벨에 도달하도록 정확하게 구성할 수 있습니다. 또한, SVG 661에는 엣지 밀봉 시스템 (edge-sealing system) 이 있으며, 이는 필름과 기질 사이에 단단한 밀봉을 보장하고 강한 접착제 결합을 제공합니다. ASML 661 은 모듈식 유지 보수 (low-maintenance) 설계를 통해 다운타임을 최소화하면서 사용이 간편합니다. 또한 GFI (Ground Fault Interrupter) 및 긴급 오프 스위치와 같은 기능을 통해 안전을 고려하여 설계되었습니다. 또한, 작업 중 검사에 이상적인 고감도 광학 시스템이 있습니다. 전반적으로 SVG Mask Aligner 661 (SVG Mask Aligner 661) 은 반도체 업계의 정확하고 반복 가능한 정렬 프로세스에 적합한 다목적 정렬 도구입니다. 이 기능은 정밀한 nanofabrication 패턴을 만드는 데 이상적이며, 모듈식 (modular) 설계는 안정적이고 사용하기 쉽습니다. 또한, 안전 기능은 장치를 사용할 때 보호됩니다. 따라서 ASML Mask Aligner PERKIN ELMER 661은 다양한 응용 프로그램에 적합한 도구입니다.
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