판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML 661 #9003993

SVG/PERKIN ELMER/ASML 661은 마스크 정렬 기이며, 이는 석판화를 수행하는 데 사용되는 기계 유형입니다. 이 제품은 정확하고, 효율적이며, 비용 효율적인 장치로, 다양한 석판화 작업에 사용할 수 있도록 설계되었습니다. SVG 661 마스크 정렬기 (Mask Aligner) 는 소자를 작고 컴팩트하게 만드는 선형 스테이지 설계를 갖춘 반면, 정확성과 정확성을 제공합니다. 3 차원 (3D) 정렬의 경우 +/- 1.0 nm, 2 차원 (2D) 정렬의 경우 +/- 0.5 nm 오차로 최대 5,000 nm 크기에 도달 할 수 있습니다. 공기베어링 (Air Bearing) 을 사용하지 않고 스테이지의 위치를 조정할 수 있습니다. 즉, 스테이지 (Stage) 를 조정하더라도 높은 수준의 정밀도를 유지할 수 있습니다. ASML 661에는 940 nm 다이오드 레이저를 사용하는 고급 광원 장비가 있으며, 최대 100mm 크기의 웨이퍼를 노출시키는 데 사용할 수 있습니다. 또한 고객의 요구 사항에 따라 사용자 정의할 수 있는 제어 시스템 (Control System) 도 있습니다. 예를 들어, 단위는 정확성을 희생하지 않고 효율성을 최대화하기 위해 독점 알고리즘으로 프로그래밍 할 수 있습니다. 이 장치에는 또한 완전자동 정렬 장치 (Full Automatic Alignment Machine) 가 있어 웨이퍼의 마스크를 쉽게 감지하고 이미지화할 수 있습니다. 또한 "온웨퍼 '정렬 (옵션) 을 사용하면 스테이지를 수동으로 회전시키지 않고도 마이크로미터 및 나노미터 레벨을 조정할 수 있습니다. 마지막으로, 661 마스크 정렬기에는 오염 모니터 (contamination monitor) 가 장착되어 있어 도구가 먼지나 이물질로 오염되면 사용자에게 경고합니다. 이 기능은 장치가 깨끗하게 유지되고 고품질 (High-Quality) 결과를 제공하는 데 도움이 됩니다. PERKIN ELMER 661 마스크 정렬기는 향상된 속도, 정확성 및 효율성을 제공하는 고급 장치입니다. 다양한 석판화 작업 (lithographic task) 에 사용할 수 있으며, 고급 기능을 통해 정밀도를 높일 수 있습니다.