판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML 661 HT #293811482

SVG/PERKIN ELMER/ASML 661 HT 마스크 정렬 장치는 고급 사진 촬영 마스크 제작을 위해 설계된 완전한 기능의 도구입니다. 이 마스크 조정기는 강력한 SVG 소프트웨어 제품군과 최첨단 (State-of-art) 구성 요소를 결합하여 광범위한 어플리케이션에서 뛰어난 결과를 제공합니다. 이 장비에는 2048 x 2048 해상도 모니터와 패터닝 단계를 안정적으로 정렬하는 고급 자동화 시스템 (Advanced Automation System) 이 장착되어 있습니다. 또한, 강력한 광 장치 (optical unit) 가 포함되어 있으며, 이는 타의 추종을 불허하는 정밀도로 조리개 필름으로 패턴 전송이 가능합니다. 최적의 결과를 얻기 위해 SVG 661 HT 마스크 정렬기는 고해상도 옵토메카니컬 정렬 머신 (optomechanical alignment machine) 을 특징으로하며, 각 면대면 노출에 대한 포토마스크를 정확하게 찾을 수 있습니다. 이를 통해 최소 (off-axis) 이동과 높은 평탄도를 보장하며, 이는 성공적인 패턴 전송에 필수적입니다. 이 도구는 또한 고해상도 압력 측정 에셋을 포함하며, 이는 매우 높은 정확도로 적용되는 압력을 감지 할 수 있습니다. 위치 정밀도 측면에서 ASML 661 HT 마스크 정렬기는 매우 엄격한 허용치를 달성 할 수 있습니다. Z축 반복성 0.7nm/100nm와 함께 0.0005mm/100m까지 낮은 X-Y 반복성을 제공합니다. 이 외에도, 모델은 다양한 에지 타겟팅 (edge targeting) 및 포커스 (focus) 기능을 제공하여 기존 프로세스 단계 및 일상적인 작업과의 효율적인 통합을 지원합니다. 또한 XY 이동 (XY Shift) 및 구멍 정렬 (Hole Alignment) 과 같은 기능을 사용하여 패턴 전송의 복잡성을 높일 수 있습니다. 661 HT 마스크 정렬 (HT Mask Aligner) 은 신뢰할 수 있는 결과로 유명하지만 고급 구성 요소 덕분에 가능합니다. 이 장비는 최첨단 칩 기술로 구동되어 프로세스 재생성을 극대화합니다. 또한, 이 마스크 정렬기는 두꺼운 폴리우레탄 고무 층을 사용하여 진동을 크게 줄이고, 이미지 선명도를 향상시킵니다. 결론적으로 PERKIN ELMER 661 HT 마스크 정렬 자는 photolithography 마스크 제작을위한 최고의 옵션입니다. 고급 옵토메카니컬 정렬, 고해상도 압력 측정, 견고한 공차 (tight tolerance) 기능을 통해 광범위한 작업을 최적으로 수행할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 최첨단 칩 기술과 견고한 구성 요소로 구동되며, 최대한의 안정성을 제공합니다.