판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML 661 HT #293765674

SVG/PERKIN ELMER/ASML 661 HT는 IC 리소그래피 응용 프로그램을 위해 설계된 고정밀 마스크 정렬기입니다. 이 고급 마스크 정렬 기는 1.2 m의 정확도를 가진 고급 정렬 아키텍처를 특징으로합니다. SVG 661 HT는 또한 최소 스팟 크기가 12jm 인 초고해상도 광학 장비를 갖추고 있습니다. 또한 ASML 661 HT에는 4x 비닝, 디포커스 제어, 다중 조명 시스템 등 다양한 이미징 기능이 있습니다. 이러한 이미징 기능을 사용하면 반도체 처리에서 IC 마스크를 빠르고 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 661 HT는 정확하고 반복 가능한 정렬을 보장하는 4 포인트, 고정밀 통합 설계를 사용합니다. 이 설계에는 마스크 정렬 프로세스를 자동화하는 데 도움이 되는 자동 초점 (autofocus) 및 다중 레벨 스캔 및 스티치 (stitch) 기능도 포함되어 있습니다. PERKIN ELMER 661 HT는 또한 binarization, contrast enhancement 및 edge sharpening과 같은 강력한 이미지 처리 기능을 제공합니다. 이러한 기능을 사용하면 이미지 품질과 정렬 정확도를 더욱 최적화할 수 있습니다. SVG/PERKIN ELMER/ASML 661 HT에는 정확한 기판 정렬을 위해 고속 및 저 드리프트 SSMB (Scanning Stage Movement Block) 기계적 단계도 장착되어 있습니다. 이 단계는 브러시리스 모터 (brushless motor) 에 의해 구동되며 최대 단계 해상도는 0.1 ° m입니다. SVG 661 HT에는 가변 레이저 출력 전원 및 조정 가능한 레이저 매개변수가있는 고출력 조명 장치가 있습니다. 이 기계는 사용자가 노출 시간을 줄이고, 기판 노출의 균일성을 높일 수 있도록 합니다. ASML 661 HT의 다양성을 더욱 향상시키기 위해, 이 도구에는 선택적인 icontrol 소프트웨어 패키지가 장착되어 있습니다. 이 프로그램을 통해 661 HT 기능과 다양한 정렬 기능을 제어할 수 있습니다. icontrol 소프트웨어는 또한 정렬 및 이미징을위한 그래픽 도구를 제공합니다. PERKIN ELMER 661 HT의 뛰어난 기능은 뛰어난 정밀도 및 능력과 연계되어 고급 IC 석판화 응용 프로그램을위한 이상적인 도구입니다.