판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML 642 HT #9358411

ID: 9358411
Mask aligner.
SVG/PERKIN ELMER/ASML 642 HT Mask Aligner는 마이크로 전자 회로 및 컴포넌트의 사진 해설을 위해 설계된 고 처리량 마스크 정렬 자입니다. 이 최첨단 장치는 완전히 자동화된 정밀 정렬 장비, 6 인치 x 4 인치 기판 크기 및 0.3 인치 m 마이크로 스테퍼 자동 초점 동작 기능을 갖추고 있습니다. 이는 고급 기계, 전기, 열 및 광학 특성을 가진 차세대 마이크로 일렉트로닉 장치 (microelectronic device) 의 개발 및 제조에 이상적입니다. SVG 642 HT 마스크 알리너 (HT Mask Aligner) 에는 X축과 Y축 모두에서 광범위한 마이크로 스텝 동작을 제공하는 고정밀 XY 테이블이 장착되어 있어 정렬 정확도와 반복성을 향상시킵니다. 스테퍼 모터 드라이브 시스템을 통해 ASML 642 HT는 빠른 기판 스캐닝을 위해 최대 600m/min의 마이크로 이동 트래버싱 속도를 제공 할 수 있으며, 2 단계 자동 초점, 미세 정렬 장치는 최대 정렬 정확도를 0.3m까지 보장 할 수 있습니다. 이 기계는 8 비트 그레이 스케일 드라이브 및 12.7m 피치 알루미늄 마스킹과 결합하여 Si, SiO2, SiO2/Si 및 Ge 레이어를 포함한 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. PERKIN ELMER 642 HT Mask Aligner는 강력한 멀티 존 진공 척 (multi-zone vacuum chuck) 도구를 갖추고 있습니다. 이 도구는 기질의 적절한 클램핑을 보장하며 기판 표면에 열과 화학 잔기 축적을 방지합니다. 고급 "가스 '유동" 컨트롤러' 를 사용 하면, 그 자산 은 저항 처리 를 위한 여러 가지 조건 체계 를 달성 할 수 있는데, 이것 은 고급 장치 제조 및 설계 에 이상적 이다. 642 HT Mask Aligner에는 안정적이고 안정적인 작동을 위해 고급 모델 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 모듈식 (modular) 설계를 통해 편리한 사용자 프로그래밍이 가능하므로 다양한 사용자 정의 프로세스에 적합합니다. 직관적인 사용자 인터페이스는 원격 데이터 수집 (Remote Data Collection) 및 원격 프로그래밍 (Remote Programming) 에 대한 지원이 향상되어 쉽고 안전하게 작동하도록 설계되었습니다. 전반적으로 SVG/PERKIN ELMER/ASML 642 HT Mask Aligner는 마이크로 일렉트로닉스 개발자 및 제조업체의 요구를 충족하도록 설계된 정밀 정렬 및 기판 스캔 및 처리를 위한 고급 도구입니다. 높은 처리량 모터 드라이브, 정밀 정렬 장비, 미세 정렬 기능 및 가스 흐름 제어 (gas flow control) 를 갖춘 SVG 642 HT는 모든 마이크로 일렉트로닉스 개발 또는 제조 프로젝트에 이상적인 선택입니다.
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