판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML 642 HT #293645522
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SVG/PERKIN ELMER/ASML 642 HT는 미크론 및 서브 미크론 스케일 기능을 측정하고 정렬하는 데 사용되는 마스크 정렬 도구 또는 광학 석판화 도구입니다. 신뢰할 수 있고 인기있는 SVG 641 HT의 최신 버전이며, 최대 200mm (200 mm) 의 웨이퍼 크기를 처리하도록 최적화되었습니다. SVG 642 HT는 엑시머 레이저, LasertecTM 프로그래밍 가능한 스테퍼 및 온도가 낮은 액정 포토 마스크가 통합 된 독특한 정렬 장비를 사용합니다. "레이저 '는" 마스크' 의 정렬 영역에 초점을 맞춘 고해상도 균일 레이저 빔을 방출한다. "프로그램 '할 수 있는" 스테퍼' 는 "웨이퍼 '를 일련의 x 방향 과 y 방향 으로 정확 하게 배치 하여" 웨이퍼' 에 비하여 "마스크 '에 있는" 패턴' 을 더 잘 정렬 할 수 있게 해 준다. 정교한 정렬 시스템 외에도 ASML 642 HT에는 저온 액정 포토 마스크 (photomask) 와 같은 다양한 최신 기술이 적용되어 정확도 및 해상도 향상. 이를 통해 일반 광학 포토 마스크 (photomask) 보다 더 큰 피쳐 크기를 허용하며, 자체 정렬 접촉 구멍 (self-aligned contact holes) 과 같은 복잡한 구조를 형성할 수 있습니다. 642 HT 는 또한 독보적인 가변 전력 광학 장치 (variable power optic unit) 를 갖추고 있는데, 이를 통해 사용자는 리소그래피 프로세스 동안 레이저의 전원을 세밀하게 조정할 수 있습니다. 이 머신은 향상된 유연성을 제공하여 원하는 광학 특성을 달성 할 수 있습니다. 또한, PERKIN ELMER 642 HT는 다목적, 모듈 식 디자인을 특징으로하며, 다양한 석판화 응용 프로그램을위한 매우 다양한 도구입니다. 마스킹을위한 기본 사진 해설에서 사전 결합 및 하이브리드 구성과 같은 더 복잡한 프로세스에 이르기까지 SVG/PERKIN ELMER/ASML 642 HT는 모든 사용자에게 포괄적 인 솔루션을 제공합니다. SVG 642 HT는 최대 6000 wph의 빠른 처리 속도와 최대 200 mm 직경의 넓은 영역 기능을 갖추고 있습니다. 따라서 대용량 생산 요구에 이상적인 선택이 됩니다. 견고한 설계, 신뢰할 수 있는 성능, 경제성을 통해, 매우 정확하고 정확한 작업 (production) 을 필요로 하는 사용자에게 적합한 선택으로, 광범위한 운영 애플리케이션을 구축할 수 있습니다.
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