판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML 641 HT #293811480
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SVG/PERKIN ELMER/ASML 641 HT는 반도체 웨이퍼 제조 프로세스에 사용되는 고급 마스크 정렬 자입니다. 이 마스크 정렬기 (mask aligner) 는 반도체 장치에 필요한 회로를 만들기 위해 파퍼 (wafer) 표면에 포토 마스크 패턴을 노출시키는 데 사용되는 고급 장비입니다. SVG 641 HT는 다양한 포토 마스크 패턴 (photomask pattern) 과 웨이퍼 크기 (wafer size) 를 사용할 수있는 매우 정교한 기계입니다. 이 고급 마스크 정렬기는 2 인치 ~ 8 인치 (50mm ~ 200mm) 의 다양한 크기의 웨이퍼 위에 포토 마스크를 정확하게 배치 할 수 있습니다. ASML 641 HT는 이중 동작 직접 포커싱 센서를 통해 작동하며, 이는 노출 중 최고 수준의 정밀도와 정확도를 제공합니다. 또한 서보 모터 시스템 (servo motor system) 을 사용하여 포토 마스크 및 빔 정렬 센서를 이동하여 정확하고 반복 가능한 정렬 정확도를 보장합니다. PERKIN ELMER 641 HT와 함께 사용되는 포토 마스크 패턴은 매우 높은 해상도를 갖습니다. 일반적으로 1 미크론 이상에서 50 나노 미터. 기계의 노출 정확도 범위 (0.4 마이크로미터) 는 패턴 중복이 정확하고 모든 차이가 최소화되도록 도와줍니다. 641 HT는 클린 룸 클래스 ISO 5 이상의 매우 깨끗한 환경에서 작동하도록 설계되었으며, 정렬 및 노출 주기 동안 낮은 열 구배를 보장하기 위해 2 단계 진공 챔버 냉각 시스템과 함께 제공됩니다. 또한, 비상 정지 스위치 (Emergency Stop Switch) 및 안전 쉴드 (Safety Shield) 와 같은 안전 기능과 운영자 안전 및 편안함을위한 인체 공학적 디자인으로 설계되었습니다. SVG/PERKIN ELMER/ASML 641 HT의 다른 주목할만한 기능에는 고급 프로세스 제어 도구 (고급 프로세스 제어 도구) 가 포함되어 있어 작업 전체의 정확성과 품질 출력을 보장합니다. 또한 이미지 처리 소프트웨어 (Image Processing Software) 를 활용하여 포토마스크 패턴이 제대로 재생산되도록 하고 데이터를 원격으로 전송하여 생산성을 높이고 폐기물을 줄일 수 있습니다. 결론적으로, SVG 641 HT는 다양한 기능으로 설계된 고급 장비로, 정확하고 정확한 웨이퍼 제작이 가능합니다. 첨단 기술, 안전 (Safety), 인체 공학 (Ergonomic) 기능이 결합되어 고급 반도체 제작에 적합합니다.
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