판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML 340HT #65071

SVG/PERKIN ELMER/ASML 340HT Mask Aligner는 반도체 제조를위한 다목적 마스킹 및 석판화 장비입니다. 필요한 노출 정확도와 견고하고 신뢰할 수있는 하드웨어 설계를 결합하여 리소그래피 처리 (lithography processing) 의 높은 수율을 보장합니다. 이 시스템은 고유 한 필름 노출 프로세스와 함께 고품질 게이트 매트릭스 (gate matrix) 를 사용하여 8nm에서 0.5um까지의 중요한 리소그래피 정확도를 제공합니다. 이 장치에는 단일 사용자 인터페이스 (user interface) 로 여러 도구를 제어할 수 있는 모든 기능을 갖춘 컨트롤러가 포함되어 있습니다. 이를 통해 보다 효율적인 생산과 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 기계의 고유 한 노출 기능에는 DUV (Deep UV) 리소그래피, 고급 전자 빔 노출 및 고급 노출 컨트롤러를 사용하는 고급 노출 제어 (Advanced Exposure Control) 가 포함됩니다. 이것 은 정확 한 해상도 가 필요 한 "패턴 '과 특징 에 있어서 더욱 정밀 하다. 이 도구는 또한 균일 한 조명 기술로 인해 노출 정확도가 향상되었습니다. 이것은 중요한 오버레이, 중요한 스페이서, 중요한 등록, Critical Line Edge roughness, Contact Hole 및 Die Attach Lithography와 같은 특수 응용 프로그램 등 다양한 리소그래피 프로세스를 지원합니다. 에셋은 또한 매우 신뢰할 수 있도록 설계되었으며, 수직 동작 경보 (vertical motion alarm), 저속 동작 경보 (low speed motion alarm), 동적 초점 설정 (dynamic focus setting) 과 같은 다양한 기능을 통합합니다. 또한, 이 모델에는 통합 정밀 스테퍼 (precision stepper) 가 포함되어 있으며, 실행이 가장 적은 넓은 영역의 정확한 스테핑 및 패턴화가 가능합니다. 또한 SVG 340HT 마스크 알리너 (SVG 340HT Mask Aligner) 는 유연성을 위해 설계되었으며 다양한 기판 및 저항 재료와 호환됩니다. 이 장비는 또한 반복적인 정렬 프로세스에 대한 자동화된 프로세스 시퀀싱 (automated process sequencing) 을 제공하며 SMB (Small-size Substrate Batch) 처리를 위해 다양한 웨이퍼 처리 시스템으로 구성할 수 있습니다. 또한 ASML 340HT Mask Aligner 에는 다양한 정교한 CR 및 DR 옵션이 포함되어 있어 자동화, 향상된 데이터 처리, 프로세스 제어에 대한 최신 기능을 제공합니다. 이 시스템에는 다운로드 없는 테스트 (test for no download), 전체 스캔 및 노출 기록 (complete scan and exposure recording) 등 전체 진단 기능이 있습니다. 전반적으로 PERKIN ELMER 340HT Mask Aligner는 반도체 생산을위한 최첨단, 정교한 및 다용도 장치입니다. 정확한 해상도와 정확한 노출 정확도를 결합한 340HT (340HT) 는 처리량 및 항복 최적화에 이상적인 선택입니다.