판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML 340HT #5943

SVG/PERKIN ELMER/ASML 340HT는 광학 리소그래피에 사용되는 최첨단 마스크 정렬기입니다. 밀도 높은 복잡한 마이크로 일렉트로닉 장치 (microelectronic devices) 를 3 미크론 두께까지 제조 할 수 있으며, 높은 수준의 정확도와 정렬이 가능합니다. 이 기계는 최고 수준의 정밀도를 제공하여 까다로운 어플리케이션에 탁월한 결과를 제공합니다. SVG 340HT 마스크 정렬기는 두 가지 주요 구성 요소 (마스크 및 기판 배치 단계, 투영 광학 시스템) 로 구성됩니다. 스테이지는 5 가지 모션 방향과 0.5 미크론의 X-Y 해상도를 제공합니다. 모션 에러를 감지하기 위해 동력 드라이브 (Motorized Drive) 와 모션 인코더 (Motion Encoder) 를 장착하고 진공 척은 보드와 마스크를 고정합니다. 프로젝션 광학 시스템에는 정밀 타원 회절 격자를 포함하는 향상된 UV 투영 렌즈가 있습니다. 이는 뛰어난 이미징과 뛰어난 정렬 정확도를 보장합니다. 마스크 및 기판의 정렬은 ASML 340HT의 즉석 정렬 기술로 달성됩니다. 기계는 기판에서 정렬 표시를 찾아서 마스크 (mask) 의 상대 위치를 계산한 다음 정렬합니다. 이렇게 하면 복잡한 마스크를 더 적은 단계로 정렬하고, 정렬의 정확도를 높일 수 있습니다. 340HT는 쿼츠 (quartz), 실리콘 (silicon) 등 다양한 기판과 호환되므로 다재다능하다. 표준 자외선 (EUV) 에 이르기까지 다양한 조명 소스를 지원합니다. 또한 0.25, 0.45 및 0.65 미크론 기능 크기를 포함하여 다양한 패턴을 노출 및 이미징 할 수 있습니다. 이 기계에는 자동 성능 및 기능 검증 (feature-verification) 툴이 장착되어 있어 정렬 정확도와 노출 속도에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. 또한 처리 (processed) 패턴을 표시하는 고해상도 (High-Resolution) 카메라가 특징으로 모든 결함을 즉각적으로 평가할 수 있습니다. 간단히 말해, PERKIN ELMER 340HT는 정밀 마이크로 리소그래피 응용 프로그램을 위해 설계된 강력하고 정확한 마스크 정렬 자입니다. 다양한 마스크 (마스크) 를 자동으로 정렬할 수 있는 다용도가 뛰어나며, 높은 수준의 정확도, 해상도, 정렬이 필요한 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.