판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML 300 #40530

SVG/PERKIN ELMER/ASML 300은 미세 구조 제작 프로세스에 필요한 정렬 정확도를 통해 기판 패턴을 정확하게 제어 할 수있는 마스크 정렬 자입니다. 이 기계의 제어 필드는 352mm (13.86 인치) 이며, 스테이지는 x, y 및 theta 방향으로 정확하게 이동할 수 있습니다. 통합 정렬 표시 (alignment mark) 센서를 사용하면 기판의 마커를 쉽게 감지하여 여러 기판에 걸쳐 정밀한 정렬 및 정렬 반복 (alignment repeat) 을 수행할 수 있습니다. SVG 300에는 마이크로 세공 프로세스를위한 디지털 프로젝션 장비도 있습니다. 이 시스템의 해상도는 최대 0.25 (m) 로, 사용자가 서브 미크론 스케일 응용 프로그램의 기판 패턴을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 디지털 프로젝션 장치는 뛰어난 이미지 품질, 고해상도 이미징, 디지털 이퀄라이제이션 (equalization), 소프트웨어 제어 렌즈 교정 기능을 제공하는 디지털 옵틱과 초저왜곡 이미징 구성 요소로 구성됩니다. 마스크 정렬기는 또한 디지털 조명 (digital lumination) 을 특징으로하며, 이는 다른 기판 유형에 맞게 조정 할 수있는 정확한 조명 제어를 제공합니다. 또한 마스크 정렬기에는 고급 투사 튜브 (Advanced Projection Tube) 가 장착되어 있어 정확도가 높은 작은 (0.1 m까지) 패턴을 처리 할 수 있습니다. 또한 ASML 300에는 내장 기판 카세트 머신이 내장되어 있어 사용자가 기판을 빠르고 쉽게 정렬기 (aligner) 로 전송할 수 있습니다. 내장된 리소그래피 스테이션 (lithography station) 을 사용하면 기판을 보다 균질하고 높은 해상도로 신속하게 처리할 수 있습니다. 이 도구는 PERKIN ELMER 300의 안전한 작동을 보장하기 위해 비활성 가스 인클로저, 압력 센서, 자동 안전 덮개 (automatic safety cover) 와 같은 고급 안전 측정 (advanced safety measures) 을 갖추고 있어 광학을 외부 손상으로부터 보호하고 자산 부품에 손상을 줄 수있는 가스를 감지합니다. 요약하면, 300은 강력한 마스크 정렬기로, 대형 제어장 (control field) 과 디지털 투영 모델을 통해 기판의 제어 패턴을 제공합니다. 또한 디지털 조명, 고급 프로젝션 튜브, 내장 기판 카세트 장비, 리소그래피 스테이션 (lithography station) 및 안전 측정 (safety measures) 을 통해 탁월한 정확성과 균질성으로 미세 구조 제작 프로세스를 안전하게 처리 할 수 있습니다.