판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / ASML 200 #40531

SVG/PERKIN ELMER/ASML 200 Mask Aligner는 반도체 생산에서 마스크 패턴 정렬에 사용되는 고정밀 기계입니다. 이 장치는 고급 이미징 (advanced imaging) 기술을 사용하여 마스크를 웨이퍼 (wafer) 에 정확하게 정렬하여 마스크의 패턴이 웨이퍼 (wafer) 에 올바르게 전송되도록 합니다. SVG 200에는 2 개의 레이저 시스템, 2 개의 이미징 카메라 및 2 개의 고속 스테이지가 표준으로 제공됩니다. "레이저 '는 거리 와" 패턴' 을 측정 하는 데 필요 한 조명 을 제공 하고, 영상 "카메라 '는" 마스크' 무늬 의 "이미지 '를 포착 한다. 고속 스테이지는 최대 1 미크론 정확도로 모든 방향으로 정렬기를 이동할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 마스크의 안정적이고 안전한 위치를 제공하는 정교한 마스크 클램핑 (mask-clamping) 시스템을 갖추고 있습니다. ASML 200에는 다양한 안전 기능과 경보가 있습니다. 이러한 경고는 연산자에게 오프 패턴 조건 및 기타 불규칙성을 경고합니다. 또한, 이 장치에는 직관적인 인터페이스를 갖춘 온보드 컴퓨터가 함께 제공되어 작동이 간편합니다. 200 개에는 aligner 자체 외에도 다양한 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. 이러한 프로그램은 이미지 분석, 조작, 노출 제어, 레티클 제어, 결함 및 테스트 분석에 사용됩니다. PERKIN ELMER 200은 직관적인 소프트웨어와 고성능 구성 요소를 통해 웨이퍼 레벨 (wafer-level) 처리를 위한 훌륭한 솔루션을 제공할 수 있습니다. SVG/PERKIN ELMER/ASML 200은 반도체 산업에서 사용하기에 이상적인 다재다능한 고정밀 장비입니다. 매우 정밀하게 마스크를 웨이퍼 (wafer) 에 정확하게 정렬하는 기능을 갖춘 반면, 종합 소프트웨어는 이미지 분석 (image analysis), 결함 감지 (defect detection), 노출 제어 (exposure control) 등에 필요한 도구를 제공합니다. 강력한 성능, 신뢰할 수 있는 기능, 직관적인 소프트웨어를 갖춘 SVG 200 은 다양한 Wafer 수준의 운영 프로세스를 위한 최상의 선택입니다.