판매용 중고 SVG Micralign 600HT #9400549
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ID: 9400549
웨이퍼 크기: 6"
Projection mask aligner, 6"
Running hours: 37,827
AIM Advanced interface
PC Control (computer untested)
(15) CAMBRIDGE Instruments eye pieces
Detachable keyboard
Operation and training manuals included
Power supply: 208/220/240V, 60Hz, Single phase.
SVG Micralign 600HT는 사진 분석 프로세스를 위해 설계된 최첨단 마스크 정렬 자입니다. 스텝 앤 리피트 (Step and Repeat) 및 풀 필드 (Full Field) 정렬 모두에서 최소 기능 크기 (1.2m에서 200m까지) 에서 광범위한 적용을 다루는 것이 이상적입니다. 마스크 정렬자 (mask aligner) 는 마스크를 보관하는 프로세스 챔버 (process chamber) 와 노출을위한 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 로 구성됩니다. "마스크 '와" 웨이퍼' 의 위치 를 미세 하게 조정 하기 위하여 "웨이퍼 '의 지형 을 탐지 하는" 레이저' 간섭계 의 도움 으로 정렬 이 이루어진다. Micralign 600HT (Micralign 600HT) 를 사용하면 광범위한 조명 소스와 하위 미크론 피쳐 크기를 생성하는 확대 중에서 선택할 수 있습니다. 이 뿐만 아니라 SVG Micralign 600HT는 유체 마스크 손상을 제거하고 시간당 최대 16.6 웨이퍼의 처리량을 가능하게하는 Chuck Impulse Technology를 사용합니다. 또한, 기계는 150mm 스테이지 대신 200mm 스테이지를 사용하므로, 더 많은 웨이퍼를 수용하고 처리량을 더 향상시킬 수 있습니다. 이 도구에는 독점적 인 VPTC (VariThermal Process Control) 장비가 장착되어 있으며, 이 장비는 마스크 및 웨이퍼가 처리 및 정렬 중에 적절한 온도에 유지되도록 합니다. 이 시스템은 최적의 웨이퍼 및 마스크 온도 보정을 위해 동적 온도 제어를 제공합니다. 이 장치를 사용하면 다양한 환경과 다양한 마스크 재료를 수용할 수 있도록 프로세스 설정을 빠르고 쉽게 조정할 수 있습니다 (영문). 또한, Micralign 600HT는 33nm 서브 픽셀 정렬 정확도와 1um 미만의 뒤틀림 오차를 가진 매우 높은 해상도를 보장합니다. 이를 통해 고급 IC 및 BIOS 기술에 이상적인 도구가 됩니다. 마지막으로, 이 머신은 매우 사용자 친화적인 소프트웨어 머신 (software machine) 과 연동되어 운영 및 유지 보수가 간편하고 간편하며, 다운타임을 줄이고 칩 수율을 증가시킵니다.
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