판매용 중고 SUSS MICROTEC ID-NR.174134 #9329395

ID: 9329395
Lithography Lamp house: 5000 W.
SUSS MICROTEC ID-NR.174134는 정밀 정렬 및 반복성을 위해 설계된 마스크 정렬기입니다. 이 제품은 정밀 스캐닝 장비, 고급 정렬 기술, 데이터 전송 기술 (Data Transfer Technology) 을 결합하여 안정적이고 반복 가능하며 정확하게 정렬된 기판을 제공합니다. ID-NR.174134의 스캐너는 최대 1nm 해상도의 스캐닝이 가능한 연락처/비접촉 스캐너입니다. c- 마운트 렌즈를 사용하여 크롬 마스크 (chrome mask) 또는 기타 비접촉 미디어를 감지하는 카메라 시스템이 장착되어 있습니다. 스캐닝 장치를 사용하면 정렬 또는 재작업 중에 기판을 정확하고 반복적으로 정렬할 수 있습니다. 기계 는 완전 히 "프로그램 '할 수 있으며" 패턴' 이나 관심 영역 을 이끌도록 설치 할 수 있다. 정밀 정렬 현미경과 함께 사용할 때 패턴 정렬의 반복성 (repeativility) 과 정확도 (accuracy) 를 측정하는 데 사용할 수 있습니다. ID-NR.174134 의 정렬 도구는 수동 (manual) 및 자동 (automatic) 정렬 측정의 조합을 사용하는 자동 단계 이동 정렬 에셋입니다. 이 모델에는 패턴 찾기, 회전, 정렬을 위한 이미지 처리 알고리즘이 포함되어 있습니다. 또한 최적의 정렬 정확성을 보장하는 피드백 알고리즘도 포함되어 있습니다. 이 장비는 또한 모든 4 점 정렬을 얻기 위해 전체 NVCC 뷰를 제공하며, 특정 응용 프로그램에서 최대 8 점 정렬을 사용할 수 있습니다. ID-NR.174134 의 데이터 전송 시스템은 고속, 고성능 이더넷 네트워크 인터페이스입니다. 이 장치는 초당 최대 10GB의 속도로 데이터를 전송할 수 있으며, 고객 요구 사항에 따라 구리 케이블 (copper cable) 또는 광섬유 케이블 (fiber-optic cable) 을 사용합니다. 이 기계는 안정적이고 안전하며, 데이터 전송률이 마스크 정렬기 (mask aligner) 와 기판 (substrate) 사이에서 장거리 데이터를 전송하기에 충분히 빠릅니다. ID-NR.174134 에는 다양한 프로세스를 효율적으로 실행할 수 있는 다양한 액세서리와 옵션이 포함되어 있습니다. 모듈식 설계를 통해 공정을 모니터링 또는 제어하기 위한 다른 장비 (예: 정밀도 측정 도구, 분광계, 히터) 를 통합할 수 있습니다. 또한, 최대 ± 3 mK의 평면 내 온도 안정성을 초정밀 정렬에 사용할 수 있습니다. 결론적으로 SUSS MICROTEC ID-NR.174134는 정밀 정렬 및 반복성에 이상적인 선택입니다. 첨단 스캐닝 (Scanning) 기술과 정교한 정렬 (Alignment) 알고리즘을 통해 정확도가 높으며 장거리 데이터를 신속하게 전송할 수 있습니다. "액세서리 '와 옵션 의 범위 는 여러 가지 과정 에 적합 하다.
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