판매용 중고 SHINUMST CA-6AM #293602547

ID: 293602547
빈티지: 2011
Mask aligner 2011 vintage.
SHINUMST CA-6 a.m은 반도체 집적 회로 제조에서 사진 촬영 프로세스를 위해 설계된 마스크 정렬 자입니다. 제조업체가 소형, 고정밀 패턴을 만들 수 있도록 설계되었습니다. "얼라이너 '는" 마스크' 를 통하여 빛 을 투영 함 으로써 작용 하는데, 이것 은 "웨이퍼 '나 사진 복사자 에게 전달 되는" 패턴' 을 만드는 데 사용 된다. CA-6 AM (CA-6 a.M.) 은 고급 광학 장비를 사용하여 사용자가 패턴을 매우 정확하게 조정할 수 있고, 균일 한 포토리스 연주자 (photoresist) 레이어를 사용하여 마스크를 더 쉽게 입을 수 있습니다. 이 기계는 양수 (positive) 와 음수 (negative) 포토레시스트를 모두 수용할 수 있으며 다양한 해상도 범위의 패턴을 만드는 데 사용될 수 있습니다. SHINUMST CA-6 a.m은 자동 정렬 시스템 (auto-alignment system) 으로 마스크 및 기판에 대한 최상의 정렬을 자동으로 찾아 패턴을 기판으로 정확하게 전송합니다. 또한 정렬 장치 (Alignment Unit) 는 설정 시간을 단순화하여 사용자가 한 정렬에서 다른 정렬로 빠르게 이동할 수 있도록 합니다. 기계 에는 또한 "레이저 '와" 카메라' 를 사용 하여 각 정렬 의 정확성 을 감시 하는 기계 시력 도구 가 들어 있다. CA-6 AM (CA-6 a.m.) 은 다양한 기능을 통해 빠른 속도로 복잡한 패턴을 제작하는 데 적합합니다. 80 킬로와트 (kW) 헬륨 레이저와 최소 선 너비 0.2 (m) 의 패턴과 선 사이의 최소 간격 (0.3) 을 생성 할 수있는 고속 스캐닝 에셋이 있습니다. SHINUMST CA-6 a.m. 또한 고해상도 직접 보기 (direct view) 카메라가 있으며, 이 카메라는 운영자에게 피드백을 제공하고 정렬을 쉽게 조정할 수 있습니다. 카메라에는 화면 인식 및 측정 기능도 있습니다. CA-6 a.m. (CA-6 a.m.) 사용자는 원하는 노출 시간과 설정을 쉽게 프로그래밍할 수 있으므로 여러 노출에 대해 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 모델은 노출 시간 (Exposure Time) 과 레이저 성능 (Laser Power) 을 원격으로 제어할 수 있으므로 장기적으로 빠르고 정확하게 수정할 수 있습니다. SHINUMST CA-6 a.m은 또한 다양한 포토 마스크 (photomask) 와 호환되므로 사용자가 자신의 사용자 정의 마스크를 사용할 수 있습니다. 전반적으로, CA-6 a.m은 다양한 기판에서 매우 정확한 패턴을 만들 수있는 고정밀 마스크 정렬기 (high-precision mask aligner) 입니다. 고급 광학 장비와 자동 정렬 시스템 (auto-alignment system) 을 통해 정확한 패턴 전송을 보장합니다. 또한 80kW 헬륨 레이저와 고속 스캐닝 장치 (scanning unit) 가 있으며 최소 0.2km 너비의 패턴을 생산할 수 있습니다. 또한 SHINUMST CA-6 a.m은 운영자에게 피드백을 제공 할 수 있으며 다양한 photomask와 호환됩니다.
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