판매용 중고 SEMI DARIN SDMA-12SA #293760484
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ID: 293760484
웨이퍼 크기: 8"-12"
빈티지: 2023
Mask aligner, 8"-12"
Back Side Alignment (BSA)
Chiller
Vacuum chuck, 8"-12"
Mask holder, 8"-12"
Lamp house module:
LED Holder
(9) UV LED Light source modules
Wavelength: 365 nm
Intensity: 20 mW/cm²
Uniformity: ±4%
Top scale module:
Dual CCD Zoom
Dual X, Y, and Z Motorize
Objective spacing: 140-310
Back side module:
Dual CCD Motorize
Dual X, Y, and Z Motorize
Objective spacing: 140-270
Leveling stage module:
Auto leveling system
Manual X and Y Micrometer
Θ and Z-Axis motorizing
Z-Axis alignment gap: 20-200 µm
Temperature controller
Flow meter sensor
PC
Monitor
Data logging
Power supply
2023 vintage.
SEMI DARIN SDMA-12SA는 반도체 산업을 위해 정확하고 효율적인 사진 분석 기능을 제공하는 최첨단 마스크 정렬기입니다. 이 고급 도구는 서브미크론 (Submicron) 기능을 위한 고해상도 (High-resolution) 패턴을 제공하도록 설계되어 고급 반도체 장치 및 부품을 제조하는 데 적합합니다. SDMA-12SA는 일관되고 안정적인 정렬 및 노출 프로세스를 보장하는 견고하고 안정적인 플랫폼을 갖추고 있습니다. 이 장비에는 상하 정렬, 자동 정렬, 고해상도 CCD 카메라 등 고급 정렬 (advanced alignment) 기술이 탑재되어 있어 마스크 (mask) 와 기판 (submicron precision) 을 정확하게 정렬할 수 있습니다. SEMI DARIN SDMA-12SA의 주요 특징 중 하나는 고강도 UV 광원이며, 포토 esist 물질을 노출시키기 위해 균일하고 강렬한 조명을 제공합니다. 따라서 마스크 설계에 충실도가 높은 선명하고 잘 정의 된 패턴이 만들어집니다. 이 시스템은 또한 조정 가능한 노출 용량 (exposure dose) 및 노출 시간 (exposure time) 옵션을 제공하여 사용자가 다른 포토리스 재료 및 기판 유형에 대해 프로세스 매개변수를 최적화 할 수 있습니다. SDMA-12SA 는 정확한 정렬 및 노출 기능 외에도 고급 자동화 (Automation) 기능을 갖추고 있어 운영 환경의 생산성과 효율성을 향상시킵니다. 이 장치에는 자동 로드 및 언로드 메커니즘과 능률적인 작업을 위한 소프트웨어 제어 프로세스 시퀀싱 (software-controlled process sequencing) 이 포함됩니다. 이 자동화는 수작업 (manual intervention) 을 줄이고 잠재적 오류를 최소화하여 처리량을 높이고 프로세스 반복성을 향상시킵니다. SEMI DARIN SDMA-12SA는 또한 유연성을 염두에 두고 설계되었으며, 이를 통해 사용자는 다양한 마스크 크기와 유형을 사용할 수 있습니다. 이 기계는 표준 포토마스크 (photomask) 와 맞춤형 마스크 (mask) 를 모두 지원하므로 광범위한 반도체 어플리케이션을 위한 복잡하고 독특한 패턴을 만들 수 있습니다. 또한 이 툴은 근접, 소프트 컨택트 (soft contact), 하드 컨택트 모드 (hard contact mode) 등 다양한 노출 모드에 대한 옵션을 제공하여 특정 요구 사항에 가장 적합한 노출 방법을 선택할 수 있는 유연성을 제공합니다. 또한, SDMA-12SA에는 고급 소프트웨어 제어 (Software Control) 및 모니터링 (Monitoring) 기능이 장착되어 있어 사용자가 실시간으로 정렬 및 노출 프로세스를 손쉽게 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. 이 자산에는 직관적인 작동과 제어 기능을 제공하는 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 와 프로세스 최적화 및 품질 제어를 위한 포괄적인 데이터 로깅/분석 툴 (analysis tools) 이 포함되어 있습니다. 전반적으로 SEMI DARIN SDMA-12SA는 다재다능하고 신뢰할 수있는 마스크 정렬기로, 반도체 제조 응용 프로그램을 위해 고성능 사진 분석 기능을 제공합니다. 고급 정렬 및 노출 기술, 자동화된 기능, 유연성, 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 갖춘 이 모델은 복잡하고 정확한 패턴을 갖춘 고품질 반도체 (Semiconductor) 장치를 생산하는 데 필수적인 도구입니다. 반도체 제작설비 (FMA) 를 위한 소중한 자산이라 할 수 있다. 제조 공정에서 최적의 결과를 얻고자 한다.
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