판매용 중고 RORZE RA410-812-101-1 #9384821

RORZE RA410-812-101-1은 반도체 웨이퍼에서 정확한 패턴과 구조를 에치하도록 설계된 마스크 정렬 자입니다. 광선, 보통 자외선 (UV) 광선을 사용하여 photolithography라는 프로세스에서 photomask에서 wafer로 패턴을 전송합니다. RA410-812-101-1의 빔은 자외선 방사선으로 구성되며, 일반적으로 365 ~ 405 나노 미터 범위의 파장을 갖습니다. 일반적으로 마스크 정렬기에는 두 개의 웨이퍼 스테이지가 있습니다. 첫 번째는 전송 단계 (Transfer Stage) 로, 인코더 위치를 지정하여 마스크와 웨이퍼를 정확하게 이동합니다. 두 번째는 노출 단계이며, 이는 광원, 마스크 홀더, 광선 공조 장비 및 광학 투영 시스템으로 구성됩니다. 마스크 홀더는 포토 마스크 (photomask) 를 보유하며, 이는 크롬으로 에칭 된 패턴을 포함하는 이분법 유리입니다. 광학 투영 장치 (optical projection unit) 는 렌즈와 거울을 조합하여 마스크 패턴을 웨이퍼 표면에 투영합니다. RORZE RA410-812-101-1에는 열 드리프트, 스테이지 정렬, 빔 정렬 등의 실시간 매개 변수 정보를 제공하는 터치 스크린 LCD가있는 제어 장치도 있습니다. 이 제어 장치에는 측정 스테이션도 포함됩니다. 이 스테이션에는 움직이는 동안 마스크 및 웨이퍼의 왜곡을 감지하고 보상하는 정확한 측정 인코더가 포함되어 있습니다. RA410-812-101-1에는 정밀 온도 조절 기계도 포함되어 있습니다. 이것 은 "웨이퍼 '가 노출 중 에 열팽창 을 하지 않게 하는 데 도움 이 되므로 중요 하다. 이것 은" 웨이퍼' 가 "패턴 '의 왜곡 을 일으키고" 웨이퍼' 를 손상 시킬 수 있기 때문 이다. 온도 조절 도구는 웨이퍼의 온도를 ± 0.2 ° C 이내로 유지할 수 있습니다. RA410-812-101-1은 노출 시간을 줄이고, 조립 시간을 최소화하고, 높은 처리량, 반복성, 정확도로 마스크 공차 내에서 가장자리 왜곡, 가려움증, 임계 치수를 보여줍니다. 전반적으로 RORZE RA410-812-101-1 마스크 정렬기는 패턴을 반도체 웨이퍼에 에칭하기위한 안정적이고 정확한 기계입니다. 그것 의 설계 는 "마스크 '와" 웨이퍼' 가 정확 하게 움직 이고, 무늬 가 정확 하게 투영 되며, 온도 가 일정하게 유지 된다. 궁극적으로, 이 마스크 정렬기는 고급 반도체 장치의 제작에 필요한 정밀도를 제공합니다.