판매용 중고 QUINTEL Q8000 ML #9359010

QUINTEL Q8000 ML은 집적 회로 생산에 사용하도록 설계된 자동 마스크 정렬 기입니다. 포토리토그래피 (photolithography) 를 사용하여 회로 패턴을 실리콘 웨이퍼로 정확하게 전달하는 데 사용되는 생산 레벨 도구입니다. Q8000 ML (Automated Alignment Option) 은 실리콘 웨이퍼에서 회로 패턴을 정밀 정렬할 수 있는 자동 정렬 옵션을 제공합니다. 이 도구는 복잡하게 설계된 회로 패턴을 위해 많은 고급 기능을 제공합니다. 패턴 이미징, 정렬 및 노출 시스템을 활용하여 작은 기능을 정확하게 생성합니다. 또한 X 및 Y 축에서 고정밀 10nm 배치 정확도와 0.5 미크론의 웨이퍼 스테이지 해상도를 제공합니다. QUINTEL Q8000 ML은 또한 정렬 및 노출 프로세스의 병렬화로 인해 처리량이 높습니다. 이 도구는 다양한 정렬 정확도 수준을 제공하는 자동 슬릿 스캔 (slit-scan) 정렬 장비를 사용합니다. 이 시스템은 고급 정렬 알고리즘을 통해 정확한 패턴 및 오버레이 정렬을 허용합니다. 또한, 다중 레이저 웨이퍼 매핑 장치는 노출 정확도를 향상시키기 위해 정확한 오열 측정을 제공합니다. Q8000 ML에는 작은 기능을 효율적으로 생성하는 최적화 된 빔 쉐이핑 머신이 있습니다. 다른 빔 에너지에 최적화된 여러 계산 광학 요소로 설계되었습니다. 이렇게 하면 각 리소그래피 사이클에서 노출 프로세스의 총 시간이 단축됩니다. 도구의 광학 기계 설계는 매우 신뢰할 수 있습니다. 무진동 (Vibration-Free) 작업을 제공하며 유지 관리 및 사용 편의성이 낮아 반복 가능한 정확성을 제공합니다. 또한, 공구의 기계적 컴포넌트는 정밀한 정렬 정밀도를 위해 조정 가능한 범위를 갖습니다. 전반적으로 QUINTEL Q8000 ML은 복잡한 집적 회로 생산에 정확하도록 설계된 생산 레벨 마스크 정렬기입니다. 자동화된 슬릿 스캔 (slit-scan) 정렬 도구, 고정밀 10nm 배치 정확도 및 최적화된 빔 쉐이핑 (beam shaping) 자산을 통해 복잡한 설계를 생산할 수 있는 안정적이고 생산적인 솔루션입니다.