판매용 중고 QUINTEL Q4000 #9375020

QUINTEL Q4000
ID: 9375020
웨이퍼 크기: 4"
Mask aligner, 4".
QUINTEL Q4000은 다양한 고급 광석기 프로세스에 사용되는 고급 마스크 정렬 기 (aligner) 장비입니다. 그것은 photoresist 베이킹, photomask 생성, 웨이퍼 준비, 에칭 및 포스트 프로세스 청소를 포함하여 MEMS 제작 프로세스의 여러 단계를 지원하도록 설계되었습니다. QUINTEL Q 4000 (QUINTEL Q 4000) 은 사용자가 매우 정확하고 반복 가능한 정렬 및 정렬 정확도와 다양한 기판에서 MEMS 제작의 탁월한 처리량 및 정확성을 달성하도록 설계되었습니다. Q-4000의 사용하기 쉬운 소프트웨어를 사용하면 waveguides, 집적 회로, 몰드와 같은 복잡한 MEMS 구조에 대한 복잡한 photomask 설계가 가능합니다. 또한, 소프트웨어는 복잡한 MEMS 구조의 처리량을 최적화하고 생산 프로세스를 단순화하도록 설계되었습니다. QUINTEL Q-4000 포지셔닝의 정밀도는 0.5 um 정렬 정확도의 고급 포지셔닝 시스템에 의해 활성화되며, 수정에 따라 서브 미크론 정밀도가 달성됩니다. X-Y 이동 범위는 최대 40mm x 40mm, Z 이동 범위는 최대 8mm입니다. 또한, 0.2mm 초점 정확도를 포함하는 고급 자동 초점 장치가 장착되어 있습니다. 빠른 처리량을 위해 Q4000은 중앙에 2 개의 6 인치 영역과 2 개의 3.5 인치 영역이있는 3 존 (Zone) 설계를 사용하여 해상도를 높일 수 있습니다. 각 웨이퍼 (wafer) 당 여러 마스크를 생성하는 데 서로 다른 zone 을 사용할 수 있으므로 대규모 운영 시 처리량 및 비용 절감 효과가 뛰어납니다. 또한 빠른 스캔, 설치 및 정렬을 위해 빠른 정렬 장치 (Rapid Alignment Machine) 가 장착되어 있습니다. 마지막으로, Q 4000 은 확장 및 업그레이드 가능하도록 설계되었으며, 툴에 기능을 추가하는 소프트웨어 모듈 (옵션) 이 제공됩니다. 여러 CAD 플랫폼과 호환되므로 모든 운영 환경에 신속하게 통합할 수 있습니다. QUINTEL Q4000 은 또한 높은 운영 효율성과 낮은 다운타임으로 비용 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. 이는 MEMS 구성 요소 제조에서 정확성과 신뢰성이 요구되는 제조업체에 적합한 선택입니다 (영문).
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