판매용 중고 QUINTEL Q4000 #293696567
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ID: 293696567
Mask aligner
Wavelength: 365 to 436 nm
Light source with Hg Lamp: 350 W
Lamp working hours: ≥ 600
Main wavelength:
i-line: 365 nm
h-line: 405 nm
Illumination intensity
i-line: 22 mW/cm2
h-line: 50 mW/cm2
Uniformity: ≤ 5%
Exposure area: Φ100 mm
Exposure modes:
Proximity
Soft contact
Hard contact
Vacuum contact
Thickness: 1 µm
Substrate size: 3"
Mask size: 4" x 4"
Fix type: Top load
Gap setting range: 0-500 µm
User interface: Touch pad
Power supply: 100 V, 50/60 Hz, 20 A.
QUINTEL Q4000은 반도체 제조, MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) 제조 및 기타 마이크로 일렉트로닉스 응용 분야의 고정밀 사진 리토 그래피 프로세스를 위해 설계된 고급 마스크 정렬 장치입니다. 이 최첨단 장비는 다양한 기능과 기능을 제공하여, 미크론 이하의 해상도 (sub-micron resolution) 가 적용된 기판에 대한 포토 마스크 (photomask) 를 매우 정확하게 정렬하고 패턴화할 수 있습니다. QUINTEL Q 4000의 주요 특징 중 하나는 정밀 정렬 시스템 (Precision Alignment System) 으로, 고급 옵틱 및 전동 단계를 사용하여 최대 50 nm의 정밀도를 달성합니다. 이 정밀도 수준은 포토 마스크 (photomask) 의 패턴이 기판에 정확하게 옮겨져 고품질 (high-quality) 장치와 결함이 없는 장치가 생성되도록 하는 데 중요합니다. 이 장치에는 또한 고해상도 이미징 머신 (high-resolution imaging machine) 이 포함되어 있어 운영자가 실시간으로 정렬 프로세스를 시각화하고 제어 할 수 있습니다. Q-4000에는 UV, Deep UV 및 Near-UV 옵션을 포함한 다양한 조명 소스가 장착되어 있어 다양한 포토 esist 재료 및 프로세스 요구 사항을 수용할 수 있습니다. 이 도구는 또한 다른 응용 프로그램 및 기판에 대한 리소그래피 프로세스를 최적화하기 위해 조정 가능한 노출 매개변수 (예: 강도, 노출 시간, 에너지 용량) 를 제공합니다. 또한 QUINTEL Q-4000 은 근접성 및 연락처 노출 (Contact Exposure) 모드를 제공하여 필요에 따라 가장 적합한 노출 방법을 선택할 수 있는 유연성을 제공합니다. 생산성 및 처리량 측면에서, Q4000 은 고속 작동을 위해 설계되었으며, 일괄 처리 및 신속한 마스크 변경을 지원하는 프로그래밍 가능한 자동화 기능을 제공합니다. 따라서 운영 효율성을 높이고 주기 시간을 단축하여 대용량 제조 환경에 적합한 Q 4000 을 구축할 수 있습니다. 이 자산에는 레시피 관리, 프로세스 제어, 데이터 분석을 위한 고급 소프트웨어 (software) 기능도 포함되어 있어 자동화된 운영 라인에 원활하게 통합할 수 있습니다. QUINTEL Q4000 의 또 다른 주요 장점은 다용성과 유연성, 모듈식 (modular) 설계로, 진화하는 기술 요구 사항을 충족할 수 있도록 손쉽게 맞춤 및 업그레이드할 수 있습니다. 사용자는 정렬 표시 검사 시스템 (Alignment Mark Inspection System), 웨이퍼 모서리 감지 (Wafer Edge Detection), 자동 교정 도구 등의 추가 기능을 추가하여 모델의 성능과 기능을 향상시킬 수 있습니다. QUINTEL Q 4000 은 다양한 마스크 크기와 유형과도 호환되며, 다양한 photomask 형식과 사양 (specification) 을 사용할 수 있습니다. 전반적으로 Q-4000은 정밀도, 성능, 생산성을 결합한 최첨단 마스크 정렬기 장비로 반도체, 마이크로일렉트로닉스 업계에서 최첨단 포토리토그래피 (photolithography) 프로세스를 지원합니다. 고급 기능, 사용자 친화적 인터페이스, 견고한 구성 기능을 갖춘 QUINTEL Q-4000 은 고품질의 패턴화 (Patterning) 및 조정 (Alignment) 프로세스를 구현하고자 하는 기업에 적합한 경제적인 솔루션입니다.
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