판매용 중고 QUINTEL Q4000 #293663745

QUINTEL Q4000은 소프트 에칭, 컨택트 기반 마스크 정렬기입니다. 반도체 장치, MEMS 및 기타 마이크로 스케일 컴포넌트의 생산에 사용되는 정확하고 고수율 리소그래피 (lithography) 프로세스를 가능하게하도록 설계되었습니다. 다른 나노 구조 및 나노 스케일 장치의 생산에도 사용됩니다. 기계는 스캐닝 단계, 기계 조립 장치, 광학 영상 장비, 부수적으로 구성됩니다. 스캐닝 단계는 두 개의 직교 동작 축, 즉 X축과 Y축으로 구성됩니다. 이를 통해 마스크를 광학 뷰 필드에 정확하게 배치할 수 있습니다. 기계적 어셈블리 (mechanical assembly) 는 마스크 정밀도, 평면도 및 레벨링에 대한 최적의 기계적 공차를 보장하도록 설계되었습니다. 이것은 가능한 가장 높은 석판 처리량을 달성하는 데 필수적입니다. QUINTEL Q 4000의 광학 이미징 시스템은 최대 10 배의 확장성을 갖춘 매우 높은 해상도의 이미징을 제공합니다. 통합 된 굴절 광학은 전체 시야에서 매우 균일 한 이미징을 달성하기 위해 수차, 난시, 비 네팅을 최소화하도록 설계되었습니다. 마스크 정렬기의 보조 구성 요소에는 현미경, 자동 웨이퍼 처리 장치 및 프로세스 특정 모듈이 포함됩니다. 현미경은 수동 정렬 작업에 뛰어난 해상도와 정밀도를 제공합니다. 자동 웨이퍼 처리 기계는 오염의 위험을 최소화하면서 균일 한 처리를 용이하게합니다. 특정 리소그래피 (lithography) 작업의 요구 사항에 맞게 시스템을 사용자정의하기 위한 공구에 프로세스별 모듈 (process-specific module) 을 추가할 수 있습니다. 전반적으로, Q-4000은 정확한 리소그래피가 필요한 구성 요소의 웨이퍼 레벨 생산을위한 고급 마스크 정렬기입니다. 자동화된 웨이퍼 처리 및 사용자 지정 가능한 프로세스 전용 모듈과 함께 뛰어난 해상도, 평면도, 차원 정확한 처리 기능을 제공합니다. 이를 통해 기계는 높은 처리량과 높은 수율로 우수한 품질의 마이크로 스케일 (micro- and nanoscale) 부품을 생산할 수 있습니다.