판매용 중고 QUINTEL Q4000 #293636361
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QUINTEL Q4000 Mask Aligner는 서브 미크론 및 나노 스케일 집적 회로의 제작에 사용되는 고정밀 기계입니다. 빠른 속도와 높은 처리량으로 photomask 처리를 위해 설계되었습니다. 이 장비는 리소그래피, 에칭 및 증착을 포함한 다양한 응용 분야에 사용될 수 있습니다. QUINTEL Q 4000 Mask Aligner는 투영 광학 시스템, 마스크 테이블, 진공 장치 및 가공소재 테이블을 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 투영 광학 머신 (projection optics machine) 은 마스크 이미지를 가공소재에 투영하는 데 사용됩니다. 마스크 테이블 에는 마스크 가 들어 있는데, 마스크 는 일반적 으로 "마스크 '에 새겨진 무늬 가 있는 얇은 금속 판 이다. 진공 도구 (vacuum tool) 는 정렬 과정에서 마스크와 가공소재를 제자리에 고정하는 데 사용됩니다. 가공소재 테이블은 가공소재 (예: 실리콘 웨이퍼) 가 배치되는 위치입니다. 정밀도와 정밀도를 보장하기 위해 에셋에는 투사된 이미지의 위치와 크기를 회전하고, 기울이고, 조정할 수 있는, 고도의 (고급) 컨트롤러가 포함됩니다. 이렇게 하면 마스크의 패턴을 가공소재의 재료 (material on the workpiece) 와 정확하게 정렬할 수 있습니다. 이 모델에는 현미경 장비 (microscopy equipment) 도 포함되어 있는데, 이 장비를 사용하여 프로세스 중 불완전성과 오류를 검사할 수 있습니다. 이 시스템은 정확성과 정확성 외에도, 높은 처리율을 가지고 있습니다. 시간당 최대 100 개의 마스크를 처리 할 수 있으며, 두께는 1.2mm 까지 다양한 마스크 크기를 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 가혹한 화학 물질을 사용하지 않거나 수동 청소가 필요하며, 효율성을 더합니다. Q-4000 Mask Aligner는 서브 미크론 및 나노 스케일 집적 회로의 제작을위한 귀중한 도구입니다. 높은 정밀도, 정확도, 처리량을 통해 고속 프로세싱과 복잡한 집적 회로 (integrated circuit) 생산에 적합합니다.
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