판매용 중고 QUINTEL Q4000 IR #9236253

ID: 9236253
웨이퍼 크기: 4"
Exposure machine, 4".
QUINTEL Q4000 IR은 반도체와 함께 포토 마스크 (photomask) 를 정확하고 자동화하도록 설계된 향상된 정확도 마스크 정렬기입니다. 3 차원, 이중 단계, 압전 사료 및 스캔 장비를 갖추고 있으며, 6 인치 또는 12 인치 기판에서 최대 32 개의 다이를 동시에 정렬 및 인덱싱할 수 있습니다. Q4000 IR은 고해상도 인코더를 갖춘 모션 시스템을 갖추고 있으며, 고정밀 6 미크론 광학 도량형과 결합된 매우 정확한 마스크 대 기판 정렬이 가능합니다. 모션 머신은 최대 320mm/s의 스캔 속도와 모든 각도에서 +/- 0.3 미크론의 반복 성을 제공하여 정밀 구성 요소의 정밀 정렬 및 인덱싱을 허용합니다. QUINTEL Q4000 IR은 정확한 웨이퍼, 다이 등록 (die registration) 및 스크라이빙 (scribing) 및 추가 기판 처리 단계까지 다양한 기능 프로그램을 실행할 수 있습니다. 이 고급 머신 (Advanced Machine) 은 기존 시스템에 비해 가장 정확한 정렬과 신속한 UV (UV Exposure) 를 제공하여 디바이스를 생성하는 데 소요되는 시간이 단축됩니다. 터치스크린이 있는 PLC (Integrated Programmable Logic Controller) 를 사용하면 다른 응용 프로그램에 맞게 시스템을 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 사용자에게 친숙한 인터페이스를 통해 내장 "Greensight" 기능을 통해 프로그램 사용자 정의 및 반복 작업 자동화를 수행할 수 있습니다. Q4000 IR은 운영자와 장비가 손상이나 피해를 입지 않도록 하는 다양한 안전 (Safety) 기능으로도 설계되었습니다. 과열 제어 도구 (over-temperature control tool) 는 컴포넌트가 과열되지 않도록 통합되었으며, 트윈 셔터 도어는 잔해와 먼지에 대해 챔버를 보호합니다. 통합 HEPA 공기 필터는 깨끗한 작업 환경을 보장합니다. 정밀 모션 에셋, 프로그래머블 로직 컨트롤러, 고급 안전 기능의 강력한 조합으로 QUINTEL Q4000 IR 마스크 정렬기는 반도체 제작에서 높은 정확성, 자동화된 프로세스에 적합한 선택이 가능합니다. Q4000 IR 마스크 정렬 (Q4000 IR Mask Aligner) 은 신속한 UV 노출 및 정밀 정렬 및 인덱싱 기능을 통해 다양한 어플리케이션에 적합합니다.
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