판매용 중고 QUINTEL Q4000-4IR #9133885
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ID: 9133885
빈티지: 2009
Manual aligner
Substrate size from pieces to 100mm diameter
Manual X, Y and theta alignment stage
Vacuum / Pressure contact
Exposure modes
Manual tray loading feature
Splitfield / Singlefield optical microscope
Simple topside mask loading
Infrared (IR) back side alignment
UV / NUV Exposure optics
Carousel loading
CCTV viewing
2006 vintage.
QUINTEL Q4000-4IR은 반도체 산업에서 집적 회로 (IC) 제조에 광 마스크를 만드는 데 사용되는 정밀 마스크 정렬 자입니다. 컴팩트한 4 판 디자인과 25 미크론 위치 정확도를 가지고 있으며, 고정밀, 대용량 포토 마스크 생산에 이상적입니다. Q4000-4IR은 고정 및 가변 모양의 기능을 모두 갖춘 25 미크론 기능 정의를 갖추고 있습니다. 정렬 (aligner) 은 4 개의 정렬 판을 생성할 수 있으며, 이를 통해 포토 마스크를 단일 프로세스에 노출시킬 수 있습니다. 정렬자의 X 축과 Y 축은 독립적으로 이동하여 뛰어난 등록 정확도를 제공 할 수 있습니다. 알리그너 (aligner) 의 고속 노출은 고도의 디지털 정밀 액추에이터에 의해 세심하게 제어되며, 정확한 속도와 스텝 크기 제어 (step size control) 를 갖습니다. 따라서 모든 노출이 완벽하게 균일합니다. QUINTEL Q4000-4IR은 강력하고 직관적인 소프트웨어 기반 자동화 시스템으로, 사용하기 쉽고 프로그래밍이 용이합니다. 자동으로 플레이트를 정렬하고 사진 마스크를 노출하도록 프로그래밍 할 수 있습니다. 연산자 인터페이스를 사용하면 이해하기 쉬운 그래픽 메뉴를 통해 모든 기능을 제어할 수 있습니다. GDSII/DXF Photomask 표준과 호환됩니다. Q4000-4IR은 안정적이고, 안정적이며, 에너지 효율적이며, 오래 지속되는 LED 광원을 갖추고 있습니다. 광원은 고휘도 형광을 제공하여 기존의 전자 빔 (e-beam) 소스보다 노출 속도가 빠릅니다. 이 기계는 또한 최적의 진공을 유지하고 이미지 왜곡을 제거하는 진공 챔버 시스템 (vacuum chamber system) 을 갖추고 있습니다. 이 첨단 마스크 조정기 (high-tech mask aligner) 는 뛰어난 균일성과 처리량을 제공하여 고해상도 포토마스크를 훨씬 적은 시간 내에 제작할 수 있게 해줍니다. QUINTEL Q4000-4IR은 사용자 정의 및 복잡한 포토 마스크 제작에 이상적인 선택으로, 정밀도, 속도, 경제적 운영 및 우수한 결과를 제공합니다.
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