판매용 중고 QUINTEL / NEUTRONIX Q7000 #293603582

QUINTEL/NEUTRONIX Q7000은 단일/다중 장치 패턴 응용 프로그램에 대한 포토 마스크 (photomask) 를 정렬하고 특성 요구 사항이 다른 여러 장치의 정밀한 처리를 제공하는 다용도 마스크 정렬기입니다. 기본 장치, 회로 처리, 최신 임베디드 (embedded) 시스템에 사용되는 고급 기술까지 마이크로패브라이션 작업에 사용할 수 있습니다. QUINTEL Q7000은 2 축 정밀 동작 단계를 특징으로하며, 이는 기판의 X 축과 Y 축의 서브 미크론 해상도를 모두 제공합니다. 이 단계는 최대 25cm/s의 상대적 속도를 지원하며, 컨트롤러 (Controller) 프로그래밍 기능을 통해 패턴화 프로세스를 완전히 자동화할 수 있습니다. 이 프로세스는 다른 환경 운영 체제 (예: Windows) 와도 통합되어 일반적인 소프트웨어 툴을 손쉽게 사용할 수 있습니다. 정렬 응용 프로그램의 경우, NEUTRONIX Q 7000에는 고유한 "스테레오 비전 (stereo vision)" 방식을 사용하여 원하는 이미지와 레이어를 정확하게 정렬하는 자동 정렬 모듈이 있습니다. 이 모듈은 정밀 머시닝 (precision-machined) 광학과 독특한 굴절 "스테레오 비전 (stereo vision)" 기술을 사용하여 최상의 정렬과 가장 상세한 이미지가 달성되도록 합니다. QUINTEL/NEUTRONIX Q 7000의 주요 특징은 이중 빔 리소그래피 장비로, 평면 표면에서 높은 패턴 충실도를 허용합니다. 이것은 2 세트의 회절 최적화 빔 광학 (기판에 1 개, 마스크에 1 개) 을 사용하며, 넓은 초점 범위를 통해 선 폭이 0.1 um 이상인 이미지를 생성 할 수 있습니다. 이중 빔 리소그래피 시스템의 추가 기능에는 높은 처리량 (throughput) 으로 단계 및 반복 (repeat) 작업을 수행하는 기능과 향상된 석판화 명암으로 더 작은 피쳐 크기가 포함됩니다. Q 7000의 추가 기능에는 공정 화학 물질을 기질에서 멀리하는 데 사용할 수있는 산 저항 인클로저 (acid-resistance enclosure), 공정 오염을 방지하기 위해 설계된 고급 FOUP 청소 장치 (advanced FOUP cleaning unit) 및 적절한 퍼징 가스를 전달하기위한 통합 가스 공급 기계. Q7000 은 고급 리소그래피 툴로서, 고품질의 고정밀 패턴화 어플리케이션에 적합합니다. 정교한 정렬 기능, 자동 제어 소프트웨어, 이중 빔 (Dual-Beam) 리소그래피 자산 및 기타 기능을 갖춘 이 솔루션은 마이크로패브레이션 (Microfabrication) 요구 사항에 이상적인 솔루션입니다.