판매용 중고 QUINTEL / NEUTRONIX Q7000 IR #9191163
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ID: 9191163
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 2001
Mask aligner, 4"
Chucks
Window for backside IR
2001 vintage.
QUINTEL/NEUTRONIX Q7000 IR은 반도체 생산에 사용하도록 설계된 생산 마스크 정렬 자입니다. 정밀도가 높은 리소그래피 (lithography) 패턴을 생산할 수 있으며, 정밀도가 높은 집적회로를 제조할 수 있습니다. QUINTEL Q7000 IR은 (는) 중앙에 큰 진공 밀봉 노출 챔버가있는 큰 프레임으로 구성되어 있습니다. 이 챔버에는 디지털 제어 장비에 의해 제어되는 다양한 고정밀 (high-precision) 렌즈와 거울이 있습니다. 이 "시스템 '은 최대 의 공간 해상도 를 가진 결정 을 만들어 내도록 설계 되어 있으며, 전체 작업 영역 에 걸쳐 정확 한 석판" 패턴' 을 만들 수 있게 해 준다. NEUTRONIX Q7000 IR에는 정확한 패턴 생성기가 있습니다. 이 생성기는 석판화 마스크를 석영 기판에 정확하게 정렬하여 완벽한 석판화 패턴을 보장합니다. 정렬 프로세스는 3축 제어 장치와 최적화를 위한 비디오 터미널 (video terminal) 로 향상됩니다. 이 장치는 또한 조절 가능한 적외선 (IR) 레이저 소스를 특징으로하며, 이는 미세 저항 패턴을 기판에 에칭하는 데 사용됩니다. 기계 는 생산 되는 회로 에 따라 "레이저 '강도 와" 레이저' 동력 도 제어 할 수 있다. Q7000 IR에는 고속 로더 (loader) 와 언로더 (unloader) 가 포함되어 있어 각 기판이 신속하게 처리되고 효율적으로 저장됩니다. 이 장치는 또한 효율적인 화학 관리 도구 (chemical management tool) 를 갖추고 있으며, 이를 통해 고속 레이저 생산 공정으로 인해 재료의 오염 또는 분해가 발생하지 않습니다. 정확한 측정 및 분석을 위해 QUINTEL/NEUTRONIX Q7000 IR에는 광학 테스트 자산이 있습니다. 이 모델은 작은 리소그래피 패턴과 회로의 전기 특성을 정확하게 측정합니다. 이 장치는 또한 웨이퍼 (Wafer) 제작에 대한 실시간 모니터링을 제공하여 웨이퍼 (Wafer) 의 생산 설정을 조정하여 고화질 회로를 만들어 스크랩 속도를 낮출 수 있습니다. 결론적으로 QUINTEL Q7000 IR 마스크 aligner는 반도체 제조에 사용되는 고급 생산 장치입니다. 그것 은 석영 기판 에 매우 정확 한 석판화 "패턴 '을 만들고" 레이저' 의 강도 와 동력 을 조절 하는 능력 을 제공 한다. 또한 고속 로더, 언로더, 소형 석판화 패턴 및 회로의 전기 특성을 측정하기위한 광학 테스트 장비가 포함되어 있습니다.
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