판매용 중고 QUINTEL / NEUTRONIX Q7000 IR #9063417
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ID: 9063417
웨이퍼 크기: 2"- 4"
빈티지: 2002
Backside mask aligner, 2"- 4"
Wavelength: 365 nm
2002 vintage.
QUINTEL Q7000은 반도체, 옵토일렉트로닉스 (optoelectronics) 와 같은 장치 생산에서 사진 리토 그래피 응용 프로그램에 사용되는 다재다능하고 고성능 마스크 정렬 자입니다. 석영, 유리, 금속, 도자기, 웨이퍼 등 다양한 재료를 노출 할 수 있습니다. Q7000의 작업 필드는 16 "x16" 으로, 리소그래피 프로세스 동안 구성 요소를 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 고급 옵틱, 디지털 이미징 및 진공 작동 에어 락 (airlock) 장비는 포토 마스크의 균일 한 조명 노출과 정확한 위치를 보장합니다. 시스템의 자동 초점 (옵션) 및 이미지 스티칭 기능을 사용할 때 최대 0.5 미크론의 정확도를 얻을 수 있습니다. 이 장치에는 석판 처리 과정에서 제어 가능한 소스 가스와 화학 시약 (chemical reagent) 을 보장하기 위해 가스 및 화학 전달 기계가 내장되어 있습니다. 통합 터치 스크린 PC는 측정 및 정렬 기능에 대한 액세스를 제공하는 반면, 듀얼 마스터 간섭계 (dual-master interferometer) 도구는 향상된 옵틱을 제공하여 노출 시간을 줄이고 정렬 정확도를 향상시킵니다. 이 자산은 오염을 최소화하고 저온 (~ 5 ° C), 저습도, 패러데이 케이지 밀폐 환경으로 최대 해상도를 제공하고 미립자 오염에 내성을 갖도록 설계되었습니다. win/win auto 명령어 및 data storage 매개 변수를 사용하면 정렬 프로세스에서 처리량을 쉽게 극대화할 수 있습니다. 이 모델에는 해상도, 정확도, 정렬 속도 향상을 위해 두 가지 파장 패턴에 대해 동시 이미지를 제공하는 듀얼 빔 (dual-beam) 기능이 장착되어 있습니다. 그 우월 한 공기 여과 장치 는 청결 한 공기 만 "시스템 '환경 에 도입 되게 한다. 안전을 위해 Q7000 은 Over-ride lock 키 (오버 라이드 잠금) 및 완전 통합 경고 장치 (Fully Integrated Warning Unit) 를 통해 인원의 안전을 저해하지 않고 사용할 수 있습니다. 머신에는 다양한 프로덕션 프로세스 (production process) 의 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있는 다양한 옵션이 있습니다. QUINTEL/NEUTRONIX Q7000 IR은 반도체, MEMS 및 광전자 장치 제작을 포함한 응용 프로그램과 정밀 사진 해설과 마스크 정렬이 필요한 모든 프로세스에 이상적인 도구입니다.
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