판매용 중고 QUINTEL / NEUTRONIX Q 4000 #9131039

QUINTEL/NEUTRONIX Q 4000은 고정밀 마이크로 일렉트로닉 구성 요소 제작을 위해 설계된 최첨단 마스크 정렬기입니다. 이 장비는 최적화 된 웨이퍼 처리 및 머신 인터페이스 (machine interface) 와 고급 갈바노메트릭 스캐너 (galvanometric scanner) 를 결합하여 기판에 매우 정확한 정렬 및 패턴 (마스크) 노출을 제공합니다. QUINTEL Q 4000의 중심에는 매우 정확한 웨이퍼 배치 및 스캔 기능이 있습니다. 6 축 웨이퍼 전송 단계 (wafer transfer stage) 와 매우 정확한 결과를 얻기 위해 필요에 따라 기울어 회전할 수있는 고급 저 관성 은하계 스캐너를 사용합니다. 이 장비는 또한 정밀 모션 컨트롤러와 X, Y 및 -축을 따라 정확한 스캐닝을위한 정밀 인코딩 시스템을 갖추고 있습니다. 최대 0.5 m의 인코더 해상도; 최대 8m/s2의 가속 및 속도; 최대 0.01mm의 반복 성. "웨이퍼 '자체 가 전사 단계 에 놓이고" 갈바노미터' "스캐너 '를 통하여" 마스크' 정렬 과정 을 수행 한다. 이 장치는 가장 정확한 위치 지정 (positioning) 을 통해 마스크를 웨이퍼 (wafer) 에 정확하게 정렬하기 위해 3 개의 축을 동기화할 수 있습니다. 정렬 기계는 렌즈, 프리즘, 쿼츠 레이저 광원으로 구성된 광학 어레이 (optics array) 덕분에 다양한 수준의 배율로 패턴을 노출 할 수 있습니다. NEUTRONIX Q-4000은 직경 1 ~ 8 인치 (최대 두께 10.0 mm) 의 다양한 크기와 두께로 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 공구의 필드 크기도 조정이 가능하며, 표준 필드 크기는 50 × 50mm이며, 최대 130 × 130mm입니다. 또한, 에셋은 스핀코팅, 열 건조, 백사이드 정렬과 같은 여러 웨이퍼 프로세스를 처리할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 Windows NT 기반 소프트웨어 패키지로 구동되며, 이 패키지는 사용자에게 수많은 웨이퍼 (wafer) 준비 및 마스크 정렬 기능을 완벽하게 자동화합니다. 다양한 화면 정보 (on-screen information) 와 메뉴가 포함된 완벽한 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 사용자가 편리하게 사용할 수 있습니다. 이 정보에는 웨이퍼 동작, 목표, 필드 크기, 정렬 상태, 스캔 매개변수 등에 대한 실시간 업데이트가 포함됩니다. Q-4000 은 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 부품의 제작을 위해 웨퍼 (wafer) 에 패턴을 정확하게 정렬해야 하는 사용자에게 적합한 최첨단 마스크 정렬기입니다. 6 축 웨이퍼 전송 단계, 고급 및 저관성 은하계 스캐너, Windows NT 기반 자동화 소프트웨어를 통해 NEUTRONIX Q 4000은 모든 응용 프로그램에 대한 정확성과 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다.