판매용 중고 QUINTEL / NEUTRONIX NXQ 4006 #9293868

QUINTEL/NEUTRONIX NXQ 4006은 반도체 제작에 사용하기 위한 고속, 전체 기능의 프로덕션 마스크 정렬기입니다. 최신 마스크 기술 (Mask Technology) 을 활용하여 뛰어난 정렬 정확성과 반복성을 제공합니다. QUINTEL NXQ 4006 (QUINTEL NXQ 4006) 은 배치 과정에서 발생할 수 있는 마스크 배치 오류를 줄이기 위해 설계된 독특한 레이저 장비를 갖추고 있습니다. 자동 정렬 (Automatic Alignment) 및 배치 (Placement) 프로세스가 있습니다. 즉, 수동 개입없이 설정하고 작동하여 마스크를 정확하게 정렬하는 데 필요한 시간과 노력을 대폭 줄일 수 있습니다. NEUTRONIX NXQ4006의 최대 정렬 정확도는 3 미크론 (3µm) 입니다. 이 개선 된 정확도는 레이저 간섭계 (laser interferometer) 를 사용하여 포토 마스크의 상대 위치를 측정함으로써 달성된다. 이를 통해 다른 마스크 정렬 시스템보다 정확하고, 쉽게 반복 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 최대 펄스 너비 (25ns) 를 가지며, 가장 복잡한 마스크 디자인을 처리 할 수 있습니다. PLM (Pulse Loading Module) 옵션을 사용하면 최대 50ns의 펄스 너비를 달성할 수 있습니다. 이 "모듈 '은" 레이저' 를 발사 하기 위한 "에너지 '수준 을 높일 때 에도" 마스크' 가 "웨이퍼 '에 완전 히 맞추어지게 하는 데 사용 된다. 또한 QUINTEL NXQ4006 (QUINTEL NXQ4006) 은 정렬 과정에서 웨이퍼에 상대적인 마스크 위치와 회전을 빠르게 조정할 수 있는 기능을 제공합니다. 이러한 동적 재정렬은 최대 효율성을 위해 수동으로 또는 완전히 자동화될 수 있습니다. QUINTEL/NEUTRONIX NXQ4006은 6축 단계를 활용하여 정확한 위치 제어 기능을 제공합니다. 이 단계를 통해 서브 미크론 (sub-micron) 포지셔닝이 가능하며, 마스크를 매번 동일한 위치에 정렬하여 최대 수율과 정확도를 보장합니다. 이 기계 에는 또한 이중 "레이저 '도구 가 장착 되어 있어서 두 개 의" 마스크' 를 동시 에 정렬 할 수 있다. 마지막으로, NEUTRONIX NXQ 4006은 시작 시 여러 테스트를 실행하여 가능한 오류 또는 잘못된 정렬을 확인하는 자가 진단 (self-diagnostic) 자산을 제공합니다. 이렇게 하면 작업이 "히치 (hitch)" 없이 중단되고 최고 품질의 정렬이 제공됩니다. 결국, NXQ4006 은 업계 최고의 정확성과 반복성을 제공하는 최신 기술을 통합한 프리미엄 마스크 정렬 (Premium Mask Alignment) 모델입니다. 대용량 생산에 적합하며 복잡한 마스크 설계 (mask design) 와 복잡한 정렬 (alignment) 작업을 모두 처리할 수 있습니다.