판매용 중고 QUINTEL / NEUTRONIX 7000 #9096333
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ID: 9096333
웨이퍼 크기: 6"
High resolution mask aligner, 6"
Parts system
Backside infrared alignment
Resolution: (1) Micron with vacuum contact.
QUINTEL/NEUTRONIX 7000은 고정밀 고급 마스크 정렬기입니다. 이 기계는 집적 회로 (IC) 를 생성하는 데 필요한 복잡한 정렬 작업을 위해 설계되었습니다. 수동 정렬 작업은 정렬자가 제공하는 자동 정렬 기능 (automated alignment function) 으로 대체할 수 있습니다. QUINTEL 7000은 6 축 동작 제어를 사용하여 XY 축의 웨이퍼 및 마스크 프레임, Z축의 노출 조명 소스를 정확하게 이동합니다. 이러한 축 조합은 미세 라인 리소그래피에 대한 정확한 정렬 기능을 제공합니다. 강력한 온보드 컴퓨터 (on board computer) 와 정교한 소프트웨어 (software) 는 시스템의 안정적인 작동과 장기적인 안정성을 보장합니다. 이 마스크 정렬기는 또한 오버레이, 결함 검토, 정렬 교정, 자동 초점 등의 다양한 특수 기능을 지원하여 향상된 성능 및 반복성을 제공합니다. 또한 "웨이퍼 '의 위 와 아래 에서 과도 한" 포토레지스트' 를 이동 시켜 "리이즈 '를 제거 하고 리소그래피' 를 위한" 웨이퍼 '를 준비 하는 데 사용 할 수 있다. 또한, NEUTRONIX 7000에는 리소그래피 작업에 이상적인 기능이있는 몇 가지 다른 기능이 있습니다. 4 인치 웨이퍼 크기 기능을 제공하여 소형 웨이퍼를 정밀하게 정렬하고 등록 할 수 있습니다. 일반 "웨이퍼 '보다 두껍게 조정 하고 처리 할 수 있도록" 웨이퍼' 를 오목 할 수 도 있다. 마지막으로, 7000 은 내부 검사 기능을 제공하여 정렬 정확도를 빠르고 쉽게 확인할 수 있습니다. 고정밀도 검사를 사용하여 잘못된 정렬 (misalignment) 이나 피쳐 크기 (feature size) 와 같은 불규칙성을 확인할 수 있습니다. 이 기능은 최고 수준의 정렬 작업을 보장합니다. 전반적으로 QUINTEL/NEUTRONIX 7000은 섬세한 정렬 및 기능 크기 제어가 필요한 리소그래피 작업에 적합한 선택입니다. 이 시스템은 6축 모션 컨트롤, 온보드 컴퓨터, 특수 소프트웨어, 특수 기능, 4 인치 웨이퍼 크기 용량, 내부 검사 기능 덕분에 안정적이고 정확한 작동을 제공합니다. 이러한 이점을 통해 QUINTEL 7000은 고급 집적 회로 제작을 위한 강력하고 다양한 도구입니다.
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