판매용 중고 QUINTEL / NEUTRONIX 7000 #9058228
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ID: 9058228
웨이퍼 크기: 6"
High resolution mask aligner, 6"
Backside infrared alignment
Resolution: (1) Micron with vacuum contact.
QUINTEL/NEUTRONIX 7000 Mask Aligner는 사진 분석 프로세스에 사용되는 고정밀 자동 기계입니다. 단일 마스크 세트에서 다중 집적 회로 (IC) 디자인을 생산하도록 제작되었습니다. 기계는 메인 프레임, 스테이지 유닛, 광학 챔버, 카메라 및 X-Y 드라이브 장비로 구성됩니다. 동적 (dynamic) 2축 비디오 정렬 기능으로 인해 탁월한 정렬 정밀도를 제공하여 다중 레벨 IC 구조에 대한 높은 수준의 정확도를 제공합니다. 고해상도 디지털 카메라 (High-resolution digital camera) 는 정렬 및 초점 감지를 제공하며, 이는 스테이지를 가공소재의 집적 회로 설계를 정확하게 정렬하는 데 사용됩니다. 이 기계는 또한 강력한 광원과 특수 광학 (optic) 을 사용하여 수차와 반사를 최소화하는 강력한 조명 시스템을 갖추고 있습니다. 다중 레벨 마스크는 X-Y 드라이브 장치 (X-Y 드라이브 장치) 와의 가공소재에 올바르게 맞춰져 있습니다. X-Y 드라이브 장치에는 항상 최적의 작동을 모니터링하고 조정할 수 있는 자체 진단 시스템이 있습니다. 자동 삭제 헤드를 사용하면 마스크를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 이 기계는 또한 웨이퍼 로더 (wafer loader) 와 언로더 (unloader) 를 가지고 있어 웨이퍼를 효율적으로 전달 할 수 있습니다. 또한 QUINTEL 7000에는 제어, 프로그래밍 및 검토 프로세스를 제공하는 내장 소프트웨어 제품군이 내장되어 있습니다. 또한 시간당 최대 15 개의 웨이퍼를 생산할 수 있으며, 패턴 정확도는 최대 1.5 미크론입니다. 또한, 이 기계는 현장 프로그래밍 및 수리를 완벽하게 지원하므로 시장에서 가장 효율적이고 신뢰할 수있는 마스크 얼라이너 (mask aligner) 중 하나입니다.
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