판매용 중고 QUINTEL / NEUTRONIX 7000 #293631832
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ID: 293631832
웨이퍼 크기: 8"
High resolution mask aligner, 8"
Resolution lithography:
ASIC
VHSIC
GAs
Silicon
Sapphire
Thin film fine line.
QUINTEL/NEUTRONIX 7000 Mask Aligner (QUINTEL/NEUTRONIX 7000 마스크) 는 반도체 장치 생산에서 다양한 포토 마스크 및 웨이퍼를 안정적이고 정밀하게 정렬 할 수 있도록 설계된 컴퓨터 제어 자동 정렬 장비입니다. 이 고성능 시스템은 포토마스크를 웨이퍼에 맞추기 위한 완전 자동 (Full Automatic) 프로세스를 제공하여 미세 정렬 (Fine Alignment) 과 거친 정렬 (Corse Alignment) 모두에 뛰어난 성능을 제공합니다. 이 장치에는 자동 정렬 기능을 갖춘 2 개의 독립 마스킹 장치가 장착되어 있습니다. 5um 이하의 정확도를 등록할 수 있습니다. 이를 통해 노출 전에 기판에 마스크를 올바르게 배치할 수 있습니다. 이 기계는 매우 높은 진공 오염 제어 환경 (vacuum contamination-controlled environment) 을 사용하는데, 이는 매우 민감한 포토 마스크 사용 시 가장 높은 해상도와 처리량을 유지하는 데 도움이됩니다. 이 도구는 디지털 모터 컨트롤을 사용하여 정렬 및 노출 중에 마스크를 이동합니다. 이 동작 컨트롤은 photomask의 정확한 위치와 동적 이미징을 보장합니다. 또한 SiO2, SiN, polyimide 및 glass 등 다양한 기판의 광학 특성을 개선하고 해상도를 향상시키기 위해 조정 가능한 Telecentric Optic을 사용하는 고급 광 정렬 에셋이 제공됩니다. QUINTEL 7000 Mask Aligner (QUINTEL 7000 마스크 정렬) 는 맞춤형 생산 포토마스크보다 더 높은 수율 품질 장치를 생산하도록 특별히 설계된 전용 마스크 정렬 기의 한 형태입니다. 또한 금속 패턴, 어레이 인쇄 등을 효율적으로 처리 할 수 있습니다. 이 모델은 둥근 것을 포함하여 다양한 크기, 두께, 모양의 기판뿐만 아니라, 부드럽고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 photomask 정렬을 가능하게 합니다. 전반적으로 NEUTRONIX 7000 Mask Aligner는 포토 마스크 (photomask) 를 웨이퍼에 정확하게 정렬하여 고품질 장치를 생산하기 위한 안정적이고 효율적인 자동 장비입니다. 미세 (Fine) 및 거친 정렬 (Coarse) 작업 모두에 대해 속도, 정확도 및 정밀도의 독보적인 조합을 제공합니다. 이 시스템은 또한 고급 모터 컨트롤 (Advanced Motor Control), 광 정렬 (Optical Alignment) 및 진공 제어 (Vacuum Control) 를 갖추고 있어 기판에 대한 Photomask를 안정적이고 정확하게 정렬할 수 있습니다.
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