판매용 중고 PERKIN ELMER 600 series #9056496

PERKIN ELMER 600 시리즈 마스크 정렬기는 사진 해설에 널리 사용되는 반도체 제조 장비입니다. 이 장비는 마스크 이미지의 광학 투영을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 또는 기판에 포토 esist를 균일하게 노출시킵니다. 정렬 과정은 정렬기의 컴퓨터 제어 스테퍼 모터를 사용하여 높은 정확도로 수행됩니다. 이 장치는 직경이 최대 6 인치 인 웨이퍼 및 칩 생산을 위해 설계되었습니다. 0.1 마이크로미터의 정확도 내에서 웨이퍼의 패턴을 정확하게 정렬하고 구조 할 수있는 5 축 포지셔닝 시스템이 있습니다. 이 장치는 4 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 스테이지, 스테퍼 모터, 램프 및 컨트롤러. 스테이지는 이미징 레이아웃이 인쇄되는 기판 (substrate) 또는 웨이퍼 (wafer) 를 이동하고 배치하는 데 사용됩니다. 스테퍼 모터 (stepper motor) 를 사용하여 스테이지는 기판에서 광학 레이아웃을 올바르게 정렬하기 위해 기판을 3 축으로 정확하게 회전하고 플렉스 (flex) 할 수 있습니다. 정렬 프로세스에 사용되는 램프는 광저항층 (photoresist layer) 을 충분히 노출시킬 수있는 충분한 에너지를 제공하는 고강도 UV 램프입니다. 컨트롤러는 스텝 모터에 전원을 공급하고 다른 작업 (예: 노출 시간, 셔터 속도, 초점) 을 제어하여 장치를 지시하는 소프트웨어 구성 요소입니다. PERKIN ELMER 시스템의 사용자 인터페이스를 사용하면 정렬 매개변수를 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 또한 배율, 왜곡 제어, 회전 오프셋 보정과 같은 일반적인 패턴 교정 도구가 있습니다. 게다가, 도구 컨트롤을 통해 사용자는 각 작업에 대한 다양한 전원, 강도, 사이클링 (cycling) 설정에 액세스할 수 있습니다. PERKIN ELMER 자산은 반도체 제조에 필수적인 고품질 성능을 제공합니다. 정확한 패턴 전송이 가능한 균일 한 노출을 제공합니다. 이 모델에는 정렬 압력 조절, 과잉 조명 방지, 소스 장애 예측과 같은 내장 안전 기능도 포함되어 있습니다. 또한 마스크 정렬자 (Mask Aligner) 가 모든 작업에 대해 정확한 정렬 프로세스를 갖추도록 정기적으로 유지 관리하는 것이 좋습니다. 전반적으로, 600 시리즈 마스크 정렬 기 (mask aligner) 는 반도체 제조에 사용되는 고정밀도 광석판의 정렬을위한 필수 장비입니다.