판매용 중고 PERKIN ELMER 300 #9174286

ID: 9174286
Mask aligner.
퍼킨 엘머 300 (PERKIN ELMER 300) 은 사진 촬영에 사용되는 마스크 정렬 자입니다. 기판에 패턴을 만드는 데 사용되는 프로세스 유형입니다. 포토 마스크 (photomask) 에서 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 또는 기타 기판으로 피쳐를 정확하게 재현하는 데 사용되는 고정밀 정렬 도구입니다. 300은 특히 반도체 및 기타 관련 산업의 photolithography 프로세스에 사용됩니다. PERKIN ELMER 300은 x- 축, y- 축 및 세타 (-) 축을 사용하여 작동합니다. 1 차원, 2 차원 및 3 차원의 세 가지 수준의 정렬을 모두 수행 할 수 있습니다. X축 및 Y축은 측면 배치와 회전 정렬의 세타 축 (theta axis) 을 담당합니다. 300이 제공하는 정밀 정렬은 포토 마스크 (photomask) 의 패턴이 반 도체 웨이퍼 (semi-conductor wafer) 에서 정확하게 재생산되도록 보장합니다. 이것은 기계의 x축, y축 및 세타 축을 사용하여 photomask에 상대적인 실리콘 기판을 정확하게 정렬함으로써 달성됩니다. PERKIN ELMER 300은 정렬 프로세스에 광 비전 인식 및 자동 정렬 기술을 사용합니다. 광시야 인식 (Optical Vision Recognition) 장비는 기판의 패턴을 감지하고 자동 정렬 시스템은 자동으로 정렬 절차를 수행합니다. 또한, 300 개에는 조절 가능한 조리개가 장착되어 있어, 포토 마스크 (photomask) 의 노출 용량을 기판에 조정할 수 있습니다. 이렇게 하면 리소그래피 (lithography) 프로세스의 변동성을 줄이고 패턴 전송의 정확도를 높일 수 있습니다. 퍼킨 엘머 300 (PERKIN ELMER 300) 은 또한 자외선 및 가시광선을 사용하여 사용 된 재료의 기질 및 감광성을 검사하는 영상 장치를 특징으로합니다. 이 검사는 이미징 전에 기판에서 결함 또는 불규칙성을 감지하는 데 도움이됩니다. 기계를 사용하여 기판의 두께 (thickness) 와 단계 높이 (step heights) 를 측정하고 횡단면 이미지를 생성할 수도 있습니다. 300은 많은 실험실에서 광 석판 공정에 사용하는 강력하고 효율적인 도구입니다. 그것 은 "마스크 '를" 포토마스크' 에서 기판 으로 전달 하는 빠르고 정확 한 방법 을 제공 하기 때문 에 "반도체 '산업 에서 가장 널리 사용 되고 있는" 마스크' 정렬 장치 중 하나 이다. 퍼킨 엘머 300 (PERKIN ELMER 300) 이 제공하는 운영 용이성과 높은 정밀도는 반도체 업계에서 일하는 기업 및 실험실에 이상적인 선택입니다.
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