판매용 중고 OAI HYBRALIGN 500 #133785

OAI HYBRALIGN 500은 집적 회로 생산에서 고급 패턴화 기술에 이상적인 강력한 마스크 정렬기입니다. 이 장치는 HYBRALIGN 500A, 500B 및 500C의 세 가지 모델로 제공되며, 각각 마스크 및 기판의 두께가 다르도록 설계되었습니다. 하이브랄린 500 (HYBRALIGN 500) 은 400nm의 파장에서 작동하는 투영 영상 장비를 장착하여 마스크를 통해 투과 된 레이저 광을 기판의 포토 esist에 넣는다. 그런 다음 시스템은 기존 패턴이나 새로 투영된 패턴을 통해 마스크 및 기판에 정렬 표시 (alignment mark) 의 위치를 기록할 수 있습니다. 정밀 동력 단계 (precision motorized stage) 는 또한 2 미크론 이내의 정렬을 정확하게 표적화하는 데 사용됩니다. 이 장치는 각 정렬 및 노출 단계 전에 포토리스 스틱 코팅 (photoresist coating) 을 적용하고 고급 패턴 일치 알고리즘을 사용하여 고정밀 정렬을 수행합니다. 자동 패턴 일치 (automatic pattern matching), 즉석 오류 수정 (on-the-fly error correction) 및 하드 실시간 정렬 (hard real-time alignment) 과 같은 옵션 기능을 추가하여 효율성, 처리량 및 총 비용 절감 효과를 얻을 수 있습니다. OAI HYBRALIGN 500 (OAI HYBRALIGN 500) 은 또한 최소한의 공간을 차지하는 컴팩트한 모듈식 디자인으로, 여러 생산 작업 및 기술의 요구를 충족하도록 설계된 모듈식 모션 머신을 제공합니다. 맞춤형 소프트웨어 패키지를 통해 필수 데이터 (예: 정렬, 노출 표시) 를 손쉽게 전송할 수 있습니다. 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 인터페이스) 를 통해 복잡한 코딩 작업 없이 노출 매개변수를 설정하고 데이터를 볼 수 있습니다. 또한 HYBRALIGN 500은 SEMI 산업 표준을 준수하며, 완벽한 기술 지원을 통해 운영 효율성과 성능을 극대화합니다. 고도의 정밀도 마스크 정렬 및 패턴 전송이 필요한 고급 리소그래피 (lithography) 기술에 이상적인 솔루션입니다.