판매용 중고 OAI HYBRALIGN 400 #9012379

OAI HybriLign 400 Mask Aligner는 사용자 운영 시간을 최소화하면서 생산 효율성을 높이도록 설계된 강력하고 기술적으로 향상된 마스크 정렬기입니다. 광범위한 정렬 기능을 특징으로하며, 반도체 웨이퍼 (wafer), 마이크로 서킷 (microcircuit) 및 기타 미세 통합 요소의 생산에 사용하도록 설계되었습니다. 대용량 생산을 위해 특별히 설계된 최초의 얇은 웨이퍼 마스크 정렬 머신입니다. 이 제품은 레이저 마스크 정렬 기술과 전통적인 광섬유 마스크 정렬 (optical shadow mask alignment) 및 전송 이미징 (transmission imaging) 을 결합하여 반도체 웨이퍼 제작에 사용되는 마스크 등록에 서브 미크론 정밀도를 제공합니다. 단일 동작으로 여러 웨이퍼를 정렬할 수 있는 기능으로, 수동 샘플별 (manual sample-by-sample) 조정의 필요성을 대폭 줄여 높은 처리량을 제공합니다. HybriLign 400에는 2 개의 비 접촉 레이저 빔 소스, 광학 목표 시스템, 에지 탐지 하위 시스템 및 다양한 확대 수준을 가진 디지털 시야가 있습니다. 이를 통해 패턴 주위에 완전히 제어 가능한 마크 프리 (mark-free) 영역을 남기면서 마스크 패턴을 매우 빠르고 정확하게 (± 1äm 해상도) 찾을 수 있습니다. 또한 [보기] 필드는 서로 다른 각도에서 동시에 정렬할 수 있도록 별도의 필드로 확장됩니다. 더 많은 정밀도가 필요할 때 더 많은 정확도를 제공합니다. 또한 전통적인 광 섀도우 마스크 (optical shadow mask) 정렬로 생산하기 어려운 것보다 복잡한 패턴을 고속 생산할 수 있습니다. 또한, HybriLign 400은 독점적 인 Active Level Alignment 기능을 제공하여 미리 정해진 레이어의 잘못된 정렬을 신속하게 수정합니다. 이 기능은 마스크 정렬 방식을 보다 정확하게 모니터링하는 연산자 (예: 거의 실시간으로 오류 수정 가능) 를 제공합니다. HybriLign 400 (HybriLign 400) 의 고급 설계와 기술은 마이크로인티그레이트 장치 제조에서 고성능, 정확성에 이상적인 선택입니다. 얇은 웨이퍼 (wafer) 생산을 처리하고 인사이트 (in-situ) 조정을 수행하는 능력은 경쟁에서 두드러집니다.