판매용 중고 OAI Hybralign 200 #293751571

OAI HybridAlign 200은 다양한 기판 정렬을위한 고급 마스크 정렬기입니다. 이 도구는 확장된 기능을 통해 정확하고 효율적인 기판 조정을 위한 광범위한 옵션을 제공합니다 (영문). HybridAlign 200은 일련의 구조 구성 요소를 제공하여 사용자에게 XY 테이블, Z축 어셈블리, 정렬 스캐닝 장비, 동작 탐지기와 같은 정확한 정렬을 제공합니다. HybridAlign 200의 뛰어난 정렬 정밀도는 하이엔드 리소그래피 애플리케이션에 이상적인 선택입니다. 또한, 고급 정렬 스캐닝 시스템은 정렬 정확도를 향상시키기 위해 흔들림을 제거합니다. OAI HybridAlign 200은 효율적이고 쉬운 작동을 위해 자동화된 설정 기능으로 설계되었습니다. 또한, 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 장치를 간단히 작동하고 모니터링할 수 있습니다. 이 기계에는 정확성을 보장하는 고정밀 스테퍼 모터, 빠르고 안정적인 정렬을 위한 기본 축 교정 검사, 빠른 정렬 스캔을 위한 CCD 기반 교정 패턴 감지 (CCD 기반) 도 포함되어 있습니다. HybridAlign 200은 정렬 샘플을 사용하지 않아도 뛰어난 정렬 정확도에 도달 할 수 있습니다. 또한 여러 단계에 대한 로컬 정렬, 가장 넓은 영역의 글로벌 정렬, 중첩 및 교차 지향, 포인트 투 포인트 (point-to-point) 및 라인 투 포인트 (line-to-point) 정렬 전략 등 정교한 재조정 기능을 수행할 수 있습니다. 또한 모든 정렬 레코드, 프로세스 매개변수, 샘플 배치, 향후 참조 결과 등을 저장할 수 있습니다. 많은 응용 프로그램의 요구를 충족시키기 위해 HybridAlign 200은 유리, 실리콘, 석영, 게르마늄 및 세라믹을 포함한 다양한 기질 재료를 지원할 수 있습니다. 또한 상호 정렬, 별 정렬, 이중 정렬, 그림자 정렬 등 다양한 정렬 알고리즘과 호환됩니다. 또한이 자산은 i-line, deep UV, KrF excimer laser 및 e-beam 기술을 포함한 다양한 노출 방사선을 수용 할 수 있습니다. 전반적으로 Oriental Advanced Integration HybridAlign 200은 성공적인 석판 및 기타 응용 프로그램을 위해 다른 기판을 정확하게 포지셔닝하기위한 강력하고 신뢰할 수있는 마스크 정렬 자입니다. 탁월한 정확도를 위한 고급 정렬 (Advanced Alignment) 기능과 번거로운 운영을 위한 자동 설정 (Automated Setup) 모델을 제공합니다.