판매용 중고 OAI Hybralign 200 #293591858

ID: 293591858
Mask aligner.
OAI Hybralign 200은 정밀 웨이퍼 정렬을 위해 반도체 산업에서 사용하는 마스크 정렬기입니다. 이 장치는 초당 최대 200 개의 웨이퍼를 정렬할 수 있으며, 1 초 내에 전체 웨이퍼를 정렬할 수 있습니다. 하이브랄린 200 (Hybralign 200) 은 접촉 마스크 정렬기 (Contact Mask Aligner) 와 광학 스캐너 (Optical Scanner) 의 가장 좋은 기능을 결합하여 동급 모든 마스크 정렬기의 최고 정확성과 처리량을 제공하는 독특한 도구입니다. OAI Hybralign 200은 돌출 정렬 핀과 진공 컵 시스템을 사용하여 웨이퍼를 정확하게 찾아 배치합니다. "핀 '은" 다이' 의 바깥쪽 모서리 를 찾는 데 사용 되며, 독점적 인 진공 "컵 '배치" 시스템' 에 의하여 "웨이퍼 '와" 하이브랄린' 기본 판 사이 에 안정 된 연결 이 이루어진다. 웨이퍼가 단단히 고정되면, 다양한 스펙트럼 범위를 가진 4 개의 LED (LED) 가 웨이퍼를 감지하고 정렬하는 데 사용됩니다. 이렇게 하면 불투명 마스크와 반투명 마스크를 모두 스캔하고 정렬할 수 있습니다. Hybralign 200은 또한 ContourFinder 2D TM 모듈을 특징으로하며, 이는 웨이퍼 모양을 결정하는 데 추가적인 정확성을 더하고 도전적인 경우에도 정확한 웨이퍼 정렬을 보장합니다. 이 장치는 x 및 Y에서 0.2um의 해상도를 가지며 정렬 정확도는 15um입니다. 추가 5um 정렬 정확도를 제공 할 수있는 선택적 점수 정렬 모드도 있습니다. 이러한 개선된 정확성으로 인해 OAI Hybralign 200 은 저비용 (LC) 장치와 높은 수의 중요 포인트를 갖춘 장치에서 모두 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 플라스틱, 금속, 패턴 등 다양한 유형의 레티클 및 마스크와 호환됩니다. 하이브랄린 200 (Hybralign 200) 은 높은 처리량, 정확한 성능 및 확장성을 제공하므로 소형 및 대형 칩 제조 플랜트에 장치를 사용할 수 있습니다. 이렇게 하면 웨이퍼 패턴화와 프로덕션 테스트 모두에 이상적인 도구가 됩니다. 이 비용 효율적인 툴은 고밀도 패키징, MEMS, 임베디드 시스템 등 다양한 반도체 애플리케이션에 필요한 속도와 정확성을 제공합니다 (영문).
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