판매용 중고 OAI Hybralign 200 #293590397

OAI Hybralign 200은 광학 리소그래피를위한 고급 패턴화 플랫폼을 제공하는 반자동 마스크 정렬 장치입니다. 이 장비는 포토 마스크 (photomask) 에 패턴을 만드는 데 사용되며, 이는 정확한 치수로 고해상도 구조를 만드는 데 도움이됩니다. 이 장비는 극단적 인 자외선 투영 영상을 사용하여 포토 마스크에서 원하는 패턴을 얻습니다. 이 시스템은 대부분의 리소그래피 응용 프로그램에 이상적인 2 빔 투영 장치로 설계되었습니다. 공간 광 변조기는 레이저 투영 도구와 통합되어 포토 마스크 (photomask) 의 정확한 패턴을 만들 수 있습니다. 레이저 투영 도구 (laser projection tool) 는 기계적 진동 및 온도 변화로 인한 동적 광학 정렬 및 보상 오류에 대한 검류계를 사용합니다. 따라서 마스크 간 오류 없이 정밀도가 높은 정렬이 가능합니다. 이 기계의 자동 패턴 엔진 (Automated Patterning Engine) 은 매우 정밀하게 다양한 피쳐 크기와 레이아웃을 생성할 수 있는 유연성을 제공합니다. 이 도구에는 이미지 벡터 정렬 및 디스플레이를위한 CCD 카메라 모니터링 도구가 있습니다. 이렇게 하면 전체 프로세스 동안 패턴 상태가 확인됩니다. 외부 정렬 레이저 (external alignment laser) 통합은 보다 정확한 정렬을 가능하게하여 제작의 더 높은 수율을 달성하는 데 도움이됩니다. 이 기계는 또한 포토 마스크 레이아웃에서 기계적 (mechanical) 수차 및 광학적 수차를 고려하여 고급 오버레이 공차를 제공합니다. 통합 프로세스 관리 소프트웨어는 작업 예약 소프트웨어 및 CIM 시스템과 상호 작용하도록 설계되었습니다. 이를 통해 자산의 처리량을 최적화하는 데 도움이 되는 자동화된 포토마스크 제조 (photomask fabrication) 프로세스를 생성할 수 있습니다. 이 모델은 광학 리소그래피 (optical lithography) 에 사용하기 위해 고품질 포토 마스크 제작을위한 신뢰할 수있는 솔루션입니다. 고급 기능과 향상된 사양은 모든 응용 프로그램의 정확한 결과를 보장합니다. 하이브랄린 200 (Hybralign 200) 은 고해상도 포토 마스크 구조를 제작하는 데 필수적인 높은 공정 제어 및 정확도를 제공합니다.