판매용 중고 OAI 806 #293589824
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OAI 806은 미세 구조 및 미세 기계 부품을 대량으로 생산하도록 설계된 자동 마스크 정렬 장치 (automated mask aligner) 입니다. 이 제품은 여러 부품이나 컴포넌트를 동시에 생산할 때 최적의 해상도, 정확도, 생산속도를 달성하도록 특별히 설계되었습니다. 806은 멀티 포트 반사 빔 (multiport reflection beam) 을 사용하여 접촉 마스크를 생성하는 고급 투영 석판 장비입니다. 패턴 정렬 시스템은 광학 센서를 사용하여 두 마스크를 정확하고 자동으로 정렬합니다. 또한 프로그래밍이 용이한 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스가 있습니다. 또한, 정렬기는 통합 레이저 스캔 장치와 접촉 마스크 쓰기를 위해 통합 노출 광학 헤드 (optical head) 를 갖습니다. OAI 806 마스크 정렬기를 사용하는 장점은 고밀도, 3 차원 미세 구조 및 구성 요소를 빠르게 생성 할 수 있다는 것입니다. 해상도는 1 미크론 미만이며 0.2 미크론 미만의 공기 간격 두께와 같은 기능을 생성 할 수 있습니다. 또한, 기계는 미세 구조 및 컴포넌트의 결합 (bond joining) 과 같은 어셈블리 프로세스를 정확하고 빠르고 자동화하는 여러 기판 레이어를 노출 할 수 있습니다. 806 aligner는 또한 빠른 웨이퍼 로드 및 언로드 프로세스를 사용합니다. 이 과정에는 두 개의 바퀴 달린 카트에 웨이퍼 척 홀더 (wafer chuck holder) 를 배치하여 쉽고 빠른 웨이퍼 로딩 및 언로드가 가능합니다. OAI 806은 또한 높은 노출 정확성과 반복 가능성을 제공합니다. 마스크 정렬기는 공기 증폭기 (air amplifier) 와 공기 댐퍼 (air damper) 를 사용하여 짧은 샷 노출 영역을 제어하는 반면, 노출 과정에서 정확한 방출 에너지 요구 사항을 충족하도록 광학을 조정합니다. 최적의 도구 성능을 보장하기 위해 806 마스크 정렬기에는 고급 셀프 진단 (self diagnostics) 이 장착되어 있습니다. 온보드 진단 유틸리티가 asset.ast 성능을 모니터링하고 구성 요소가 고장났으면 사용자에게 알립니다. 통합 소프트웨어는 모델이 항상 효율성을 유지하도록 보장합니다. 전반적으로 OAI 806 마스크 정렬기는 강력하고 신뢰할 수 있는 자동 마스크 정렬기로, 비용 효율적인 대용량 생산을 제공합니다. 마이크론 (micron) 또는 서브미크론 (submicron) 구조가 필요한 응용 프로그램과 빠른 웨이퍼 로드 및 언로드, 정확하고 반복 가능한 노출, 자동 어셈블리 프로세스가 필요한 응용 프로그램에 이상적입니다.
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