판매용 중고 OAI 2000SM #9256685

OAI 2000SM은 OAI Corporation에서 제공하는 매우 정밀하고 컴퓨터 제어 마스크 정렬 자입니다. 이 장비는 반도체 소자 제작을 위해 특별히 설계되었으며, 최소 기능 크기가 1µm 인 소자의 광학 쓰기, 에칭 (etching), 개발 (developing) 과 같은 패턴화 프로세스에 이상적입니다. 2000SM은 고해상도 2축 서보 모터 기반 시스템으로, X 및 Y 축에서 최대 ± 1äm의 정확도를 향상시킵니다. 또한 주기 시간이 1.7m에 불과한 높은 처리량을 제공합니다. 이 장치는 최대 5äm 정렬 정확도로 뛰어난 오버레이 정확도를 보장합니다. 또한 최대 280mm 두께의 두꺼운 기판을 처리 할 수 있습니다. OAI 2000SM 은 매우 유연한 시스템 아키텍처를 갖추고 있어 다양한 주변 장치 (peripheral) 구성요소를 고객의 특정 요구 사항에 맞게 통합할 수 있습니다. 이 도구는 광학 스테퍼, 스퍼터링 시스템, 배치 스피너, 에치 시스템, 이온 임플랜터 및 확산 용광로와 같은 다양한 장비와 통합 될 수 있습니다. 이 에셋은 단단한 알루미늄 베이스 플래튼 (aluminum base platen) 으로 만들어졌으며, 이는 탁월한 평평함과 정확성을 가능하게합니다. 또한 플랫 플레이트 스캔 (Flat Plate Scan) 기능을 사용하여 패턴을 스캔하여 도구를 빠르게 설정하고 재정렬할 수 있습니다. 이렇게 하면 마스크를 기판에 맞추는 데 걸리는 시간이 줄어들어, 응답 시간이 빨라집니다. 2000SM (2000SM) 은 반도체 제작을 위해 설정된 엄격한 안전 및 반복 가능성 표준을 충족하는 신뢰성이 높은 정렬기입니다. 모든 문 및 부품에 안전 인터 록이 장착되어 있으며 ESD (electro-static discharge) 표준을 준수합니다. 또한 경보 모델 (alarm model) 을 사용하여 비상 사태가 발생할 경우 운영자에게 경보하도록 설정할 수 있으므로 안정적인 작동을 보장합니다. OAI 2000SM 마스크 정렬기는 반도체 장치의 고정밀 패턴화에 이상적인 솔루션입니다. 이 시스템은 정확한 정렬 정확성, 고급 장비 아키텍처 (Advanced Equipment Architecture), 강력한 안전 및 성능 표준을 통해 반도체 업계의 까다로운 요구 사항에 잘 부응하고 있습니다.