판매용 중고 OAI 200 #9008675

Orion Aligner Mask라고도하는 OAI 200은 반도체 제작 프로세스에 사용되는 고해상도 이미지 정렬 장비입니다. 이 시스템은 반도체 웨이퍼의 표시를 측정하고 정렬하는 데 사용됩니다. 200은 오버레이 비접촉 광학 이미징 장치로 구성됩니다. 기계는 레이저 다이오드 (laser diode) 또는 레이저 빔 (laser beam) 에 의해 생성 된 오버레이 그리드의 정확한 픽셀 레벨 자국 위치를 측정합니다. OAI 200은 고해상도 렌즈와 다축 단계를 사용하여 이미지의 방향 및 등록을 정확하게 제어합니다. 이 도구는 스테이지 제어 장치와 감지 제어 장치로 구성됩니다. 스테이지 제어 장치 (stage control unit) 는 스테이지의 회전 및 기울기를 이미지를 캡처하기 위해 원하는 방향과 위치로 정확하게 제어합니다. 감지 제어 자산은 전기 광 장치를 사용하여 이미지를 감지합니다. 가장자리 검출 (edge detection) 또는 광원 검출 중심 (center of light detection) 을 사용하여 이미지를 캡처하고 정렬합니다. 200 모델은 200nm에서 800nm 크기의 오버레이 이미지를 측정하고 1x 및 4x 속도로 작동합니다. 한 번의 샷으로 웨이퍼의 전체 영역을 측정 할 수 있습니다. 장비는 이미지 전체에서 마크를 측정할 수 있으며, 이는 과잉 교정을 최소화하는 데 도움이됩니다. 이를 통해 더 높은 생산량을 얻을 수 있습니다. 시스템에서 사용되는 이미지 분석 소프트웨어 (image analysis software) 를 사용하면 모서리 탐지, 원 탐지 및 질량 탐지 중심에 대한 자체 응답 기능을 사용자정의할 수 있습니다. 또한, OAI 200에는 실시간 이미지 캡처 장치가 있어 사용자가 동시에 여러 이미지를 캡처하고 정렬할 수 있습니다. 기계는 하나의 이터레이션에서 웨이퍼의 여러 영역을 측정하고 정렬 할 수 있습니다. 이 도구에는 멀티 다이 스택 및 멀티 베이 멀티 레이어 기판을위한 자동 정렬 (automated alignment) 과 같은 몇 가지 고급 기능이 있습니다. 200은 또한 매우 정확한 정렬 기능과 정확한 정렬 결과를 제공합니다. OAI 200은 미세한 광원의 크기를 측정하고, 크기가 작은 픽셀을 빠르게 측정하고, 우수한 수율로 0.18 미크론 칩을 제조하는 데 이상적입니다. 자산은 항공 우주, 자동차, 의료 및 반도체와 같은 다양한 산업에 사용됩니다.