판매용 중고 MIKASA ML-1 #293655508
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MIKASA ML-1 Mask Aligner는 집적 회로 (IC) 제조에서 사진 분석 프로세스에 사용되는 자동화되고 정밀한 기계입니다. 사진 구조 또는 포토 마스크 (photomask) 로 구성된 패턴 마스크를 정확하게 배치하고 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 표면에 에칭하기 위한 설계 레이아웃에 정렬하는 데 사용됩니다. ML-1 Mask Aligner는 4 개의 선형 모션 스테이지, 2 개의 로터리 스테이지 및 여러 개의 사전 정렬 및 사전 선택 스테이션이 통합 된 웨이퍼 스테이지로 구성된 마스크 스테이지를 가지고 있습니다. 범위가 넓고 정렬 정확도가 1.0m 미만인 대용량 IC 생산을 위해 특별히 설계되었습니다. 자외선 (UV) 광원, 웨이퍼 난방 시스템 및 고급 마스크 오버레이 측정 도구 (Mask Overlay Measurement Tool) 를 사용하여 정밀한 오버레이를 등록하고 최대 오버레이를 정확하게 합니다. MIKASA ML-1 마스크 조정기 (Mask Aligner) 는 고급 옵티컬 시스템으로 깊은 UV 하프톤을 처리하고 각 하프톤에 대해 자동 이득 및 오프셋 제어를 수행하는 기능으로 더욱 향상되었습니다. 이 시스템에는 자동 마스크 정렬 프로세스의 최대 제어를 위해 추가 옵션으로 2 축 재료 커터, 6 축 암, 자동 스크러버 (Scrubber) 가 장착되어 있습니다. ML-1 Mask Aligner (ML-1 마스크 정렬) 는 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스로 설계되어 고급 패턴 매개 변수를 간편하게 개발, 조작 및 저장할 수 있습니다. 대화형 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 사용하면 제작에 필요한 웨이퍼 맵을 빠르고 쉽게 설계, 편집, 만들 수 있습니다. 또한, 사용자에게 친숙한 소프트웨어는 사용자의 데이터 관리 및 설치 절차를 단순화합니다. 또한 MIKASA ML-1 Mask Aligner 는 Cycle Time (주기 시간 단축), Process Control (프로세스 제어) 기능 등 다양한 운영 요건과 하이엔드 기능을 손쉽게 조정할 수 있도록 자동화된 조정 프로세스를 비롯한 여러 사용자 설정을 제공합니다. 또한 깊은 UV 하프톤 리소그래피 프로세스에 대한 최적의 좌표와 경로를 자동으로 얻는 AccuRitter (AR) Feature Track 프로그램을 제공합니다. 모든 기능과 기능을 갖춘 ML-1 Mask Aligner는 IC 제작을 위한 고급적이고 안정적인 자동 마스크 정렬기입니다. 최대 수율로 고품질 IC (IC) 생산을 달성하고자 하는 모든 집적 회로 제조 제조업체에게는 없어서는 안 될 기계입니다.
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