판매용 중고 MIKASA MA-20 #9394173
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ID: 9394173
빈티지: 1997
Mask aligner
Plate size, 4"
UV Light box
With multi faceted mirror
Illumination: >14mW/cm2
Uniformity of illumination: <4%
Lamp accumulator light meter
1997 vintage.
MIKASA MA-20 Mask Aligner는 포토 마스크 또는 레티클 및 웨이퍼를 정렬하도록 설계된 매우 정확하고 신뢰할 수있는 마스크 정렬기입니다. 이 정렬기는 평면 및 3D 표면에 레티클을 정확하게 정렬하며, 최대 2 m 해상도의 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 에 패턴을 만드는 데 사용할 수 있습니다. 반도체 제작과 정확한 레티클 (reticle) 배치가 필요한 다른 고정밀 응용 분야에 특히 적합합니다. MA-20 정렬기는 진공 척 및 XY 축 단계를 특징으로하여 정확하고 반복 가능한 정렬을 가능하게합니다. 정렬 장비는 특허를받은 LRAM (Laser Reflection Angle Measurement) 기술을 기반으로하며 레이저 소스를 다양한 각도로 사용하여 레티클과 기판 사이의 상대 위치를 측정합니다. 이 정렬기는 또한 목표 신호를 감지하고 정확하게 식별하기 위해 에지 감지 시스템 (Edge Detection System) 을 통합하여 노출 시간을 줄이고 정밀도를 향상시킵니다. MIKASA MA-20의 260nm UV 노출 장치를 사용하면 작은 크기의 생산이 극단적 인 정확성과 반복성을 견딜 수 있습니다. 고출력 할로겐 램프, UV 필터, 정확한 노출 제어를 위한 셔터 머신 (shutter machine) 이 장착되어 있습니다. 이 정렬기는 또한 3 차원 가열 인큐베이터를 갖추고 있으며, 이는 정확한 온도 조절 및 연장 된 레티클 수명을 위해 통제 된 환경을 제공합니다. 또한 MA-20 은 웹 기반 프로세스 모니터링/제어 툴과 통합되어 운영 시간 (Production Time) 및 레티클 수명 (Reticle Life) 을 쉽게 모니터링할 수 있습니다. 또한, 사용자는 유지 관리 및 보고 로그를 제공하면서 시스템 매개 변수를 원격으로 조정할 수 있습니다. 미카사 MA-20 (MIKASA MA-20) 은 몇 년 동안 안정적이고 경제적인 작업을 수행할 수 있도록 설계되었으며, 사용이 쉽고 효율적인 마스크 정렬기를 제공하며, 이미지 등록 및 정렬 정확도가 우수합니다. 이 정렬기는 실리콘 웨이퍼, 유리, 세라믹, 기타 재료 등 다양한 기판으로 패턴을 전송하는 데 사용될 수 있습니다. MA-20 Mask Aligner는 정확성, 반복성, 다재다능성의 조합으로 고급 반도체 제작 프로세스에 이상적인 솔루션입니다.
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