판매용 중고 MIDAS MDA-80MS #9204277

MIDAS MDA-80MS
ID: 9204277
웨이퍼 크기: 6"-8"
Mask aligner, 6"-8" Mask holder & stage included Semi-auto aligner.
MIDAS MDA-80MS는 반도체 장치의 효율적인 제작을 위해 설계된 고정밀 마스크 정렬기입니다. 이 장비는 높은 정확도와 패턴 해상도를 필요로 하는 어플리케이션에 적합합니다. 정렬 자 (aligner) 의 기능은 최대 200x200mm의 작업 면적에 대한 정밀도 ± 2m로 대상 기판에 패턴을 정확하게 배치합니다. MDA-80MS는 정확한 패턴 등록을 위해 고성능 레이저 정렬 시스템을 갖추고 있습니다. 이는 정밀도 0.2-0.5 äm의 목표 기판의 정확한 정렬을 보장합니다. 또한 크기와 모양이 다른 패턴 정렬 (alignment of pattern) 과 다양한 정렬 정밀도 (alignment accuracy) 옵션을 지원합니다. 또한 정렬자 (aligner) 는 다양한 정렬 도구와 소프트웨어 패키지를 지원하므로 특정 요구 사항에 맞게 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다. 이 도구는 매우 민감하며, 사용자가 정렬 프로세스를 모니터링할 수 있는 고해상도 CCD (고해상도 CCD) 카메라를 장착합니다. 이 에셋은 또한 조정 가능한 노출 제어 (Exposure Control) 및 광도 설정 (Light Intensity Settings) 을 제공하여 다양한 기판 및 노출 조건에서 정렬의 정확성을 보장합니다. MIDAS MDA-80MS는 고정밀 정렬뿐만 아니라 자동 마스크 로딩 모델도 갖추고 있습니다. 이를 통해 사용자는 완전 자동화 및 반복 가능한 프로세스에서 포토 마스크 (photomask) 를 기판에 빠르게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 이 장비는 기판 당 최대 15 개의 마스크 (마스크) 를 적재 할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 단일 기판에 여러 장치를 구성 할 수 있습니다. MDA-80MS는 또한 정확하고 반복 가능한 패턴 전송을 제공하는 자동 레티클 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이를 통해 패턴이 기판에 정확하게 전달되고, 또한 정확한 위치 조정을 제공합니다. 이 장치는 안정적이고 안정적인 운영을 보장하기 위해 엄격한 환경 보호 (Environmental Protection) 조치로 설계되었습니다. 이 기계는 또한 정렬 과정에서 데이터 손실을 방지하기 위해 자동 저장 (autosave) 기능을 갖추고 있습니다. MIDAS MDA-80MS는 강력하고 신뢰할 수있는 마스크 정렬기로, 복잡한 반도체 장치의 효율적인 제작을 위해 설계되었습니다. 높은 정확도 정렬 기능과 강력한 패턴 매칭 (pattern-matching) 기술을 활용하면 최신 반도체 기술과 소재를 활용할 수 있습니다.
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