판매용 중고 MIDAS MDA-60FA #9404360

MIDAS MDA-60FA는 MIDAS가 개발 한 멀티 빔 레이저 마스크 정렬 자입니다. 광마스크 및 기판의 정확한 위치 지정, 정렬 및 빠른 조작을 제공하여 반도체 칩 및 마이크로 일렉트로닉 장치 (microelectronic devices) 의 생산에 사용됩니다. MDA-60FA에는 18 인치 전체 원, 6 축 컴퓨터 제어 동작 제어가 있습니다. 다양한 스캔 주파수, 레이저 파워, 해상도를 통해 정밀도 정렬을 조정할 수 있습니다. MIDAS MDA-60FA는 통합 MCAT 선형 동기화와 XY 거친 이동을 갖춘 고정밀 듀얼 스테이지 축 모듈을 사용합니다. X-Y-Z 스테이지의 포지셔닝 정확도는 +/- 1.0 미크론, 반복 가능성 정확도는 0.3 미크론 및 0.02 m/s 가속도의 1mm/s 속도를 갖습니다. MDA-60FA는 855x855x1400mm, 무게는 155kg입니다. MIDAS MDA-60FA의 레이저 소스는 펄스 폭 20 - 100ms 및 펄스당 최대 175mJ 에너지의 펄스 185nm 레이저입니다. 최소 장착 반복 가능성은 1äm, 최소 빔 정렬 오차는 0.25äm, 초점 깊이는 2-5äm입니다. 레이저 스팟 크기는 5-100m에서 조정할 수 있으며 최소 정확도는 0.2m입니다. MDA-60FA 는 다양한 소프트웨어 기능을 갖추고 있어, 신속한 조정 설정 시간을 통해 반복 조정할 수 있습니다. 소프트웨어는 수많은 리소그래피 형식을 지원하고, 자동 정렬 및 왜곡 보정을 제공하며, 더 높은 정확도 정렬을 위해 확장 (extended) 바둑판 보정을 지원합니다. 통합 MCAT 레이저 동기화 (MCAT Laser Synchronization) 기능은 레이저 소스와 이미지 처리를 지속적으로 정렬하여 매우 정확한 고속 정렬을 보장합니다. 전반적으로 MIDAS MDA-60FA는 반도체 및 MEMS 어플리케이션을 위한 정밀 조정에서 업계 선두주자입니다. 고급 모션 컨트롤 (Motion Control), 듀얼 스테이지 모듈 (Dual Stage Module), 레이저 소스 (Laser Source) 및 종합적인 소프트웨어 기능을 조합하여 비용 효율적인 운영을 통해 매우 정밀한 조정을 위한 최적의 성능을 제공합니다.