판매용 중고 MIDAS MDA-60FA #9302606

MIDAS MDA-60FA는 높은 정확도 사진 분석 프로세스를 위해 설계된 고급 마스크 정렬 자입니다. 이 장비는 정확성과 비용 효율성을 염두에 두고 설계되었으며, 이는 연구/생산 응용프로그램에 이상적인 솔루션입니다. MDA-60FA에는 직경 60cm, 깊이 60cm 광학 스테이지가 장착되어 있으며, 현재 사용 가능한 최대 크기 중 하나입니다. 높은 정확도의 가열 척 (heated chuck) 은 최고 수준의 정렬을 보장하며 기판 사이에 훌륭한 접촉을 제공하여 정확하고 고해상도 사진 해설을 가능하게합니다. 시스템의 최대 노출 면적은 80 x 90cm, 광원은 15cm (6 인치), 최대 웨이퍼 크기는 11 인치입니다. 이 장치에는 정확한 노출을 촉진하는 다양한 기능이 있습니다. 반자동, 자동, 수동 프로세스 등 다양한 노출 모드를 제공합니다. 또한 두꺼운/얇은 유리 처리 (thin/thin glass processing) 기능이 장착되어 있어 하나의 노출에서 다음 노출로 원활하게 전환 할 수 있습니다. 또한, 정렬 스테이션 (Alignment Station) 이 기계에 통합되어 노출 전에 기판의 높은 정밀도 정렬을 제공합니다. MIDAS MDA-60FA 는 프로세스 모니터링 및 제어를 위한 데이터 획득 시스템과 통합될 수 있으며, 다양한 vision 및 metrology 옵션을 제공합니다. 또한 다양한 프로세스 제어 소프트웨어 패키지를 위한 신뢰할 수있는 플랫폼을 제공합니다. 이 도구는 모든 구성 요소에 쉽게 액세스할 수 있는 모듈식 어셈블리 (modular assembly) 설계를 통해 최고의 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 또한 안정성과 정밀성을 보장하기 위해 능동형 수냉식 자산 (active water cooling asset) 이 장착되어 있으며, 비상 정지 명령 (emergent stop command) 과 같은 다른 안전 기능은 원치 않는 방사선 노출과 같은 잠재적 위험으로부터 연산자를 보호하는 데 도움이됩니다. MDA-60FA 마스크 정렬자 (MDA-60FA mask aligner) 는 높은 정확도 결과와 비용 효과를 제공하는 정렬자가 거의 없기 때문에 많은 연구 및 생산 사진 사진 촬영 작업에 귀중한 도구를 증명할 수 있습니다. 더 큰 노출 영역과 완벽한 정렬 제어의 경우 MIDAS MDA-60FA가 이상적인 선택입니다.