판매용 중고 MIDAS MDA-6000 #9308142
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MIDAS MDA-6000 (미다스 MDA-6000) 은 최첨단 마스크 정렬기로, 집적 회로 및 반도체 생산을 위해 정확한 마스크 정렬을 제공하도록 설계되었습니다. 이 정렬기는 고에너지 소스 (high-energy source) 와 고급 광학 정렬 장비를 갖추고 있으며, 이를 통해 패턴화된 금속 마스크를 웨이퍼 기판에 정확하게 정렬할 수 있습니다. MDA-6000의 고에너지 소스는 최적의 정렬 정확성을 위해 설계되었습니다. "마스크 '와" 웨이퍼' 를 정확 하게 정렬 할 수 있게 하여 기판 전체 에 균일 한 동력 밀도 를 생성 한다. 또한 고급 오류 수정 제어 시스템 (Advanced Error-Correction Control System) 이 있습니다. 이 시스템은 열 또는 기타 환경 효과로 인한 오차를 보완하여 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. MIDAS MDA-6000 의 고해상도 광 장치 (optical unit) 는 정렬 프로세스에서 최고의 정확성을 제공합니다. 이 제품은 자동 초점 기술이 적용된 고해상도 CCD 카메라로 구성되어 있으며, 기판에 대한 마스크 위치를 정확하게 측정할 수 있도록 설계되었습니다. 이 기계는 또한 혁신적인 경장 현미경을 특징으로하며, 기판 패턴을 쉽게 정렬 및 측정 할 수 있습니다. 또한 MDA-6000 은 자동화된 교정 툴 (calibration tool) 을 갖추고 있어 소스의 성능과 광 자산의 해상도를 최적화하여 원하는 정렬을 제공합니다. 이렇게 하면 가장 적합한 정렬 결과가 달성되고 모든 프로세스 매개변수 (process parameter) 가 운영 요구 사항에 따라 올바르게 설정됩니다. MIDAS MDA-6000 은 또한 정교한 프로세스 모니터링 툴을 갖추고 있어 정렬 프로세스에 대한 자세한 피드백을 제공합니다. 여기에는 마스크 전력 밀도, 초점 수준, 광 정렬 등이 포함됩니다. 또한 [정렬] 결과를 실시간으로 표시하여 사용자가 마스크 정렬의 정확성을 확인할 수 있습니다. MDA-6000 (MDA-6000) 은 집적 회로 및 반도체 생산에 탁월한 정렬 정확도를 제공하도록 설계된 고급 고정밀 마스크 정렬기 (high-precision mask aligner) 입니다. 고에너지 소스 (high-energy source) 및 고급 광 정렬 (advanced optical alignment) 모델은 마스크를 기판과 정확하게 정렬하는 반면, 자동 교정 장비는 최상의 결과를 보장합니다. 또한 프로세스 모니터링 도구 (process monitoring tools) 는 정렬 프로세스에 대한 자세한 피드백을 제공하여 각 프로덕션 실행에 대한 정확하고 일관된 마스크 정렬을 보장합니다.
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