판매용 중고 MIDAS MDA-400M #293666284

ID: 293666284
빈티지: 2011
Mask aligner Spin process controller 2011 vintage.
MIDAS MDA-400M (MIDAS MDA-400M) 은 표면에 특정 패턴의 리소그래피 및 노출 과정을 가능하게 하는 효율적이고 사용자 친화적 인 마스크 정렬기입니다. 이 도구는 반도체 제조에서 모든 종류의 전자 제품을 만드는 데 사용됩니다. 미다스 MDA 400 M (MIDAS MDA 400 M) 은 고에너지 포토리스 스틱 (photoresist) 과 광학 패턴화 (optical patterning) 를 모두 사용하여 사진 생성 장치 인 레티클에서 개발 중인 장치로 패턴을 빠르고 정확하게 전송합니다. 이 도구는 다양한 기판 크기와 두께 (thickness) 에 사용할 수 있으며, 다양한 노출 솔루션 (Exposure Solution) 을 지원하여 최고 수준의 정밀도 및 반복성을 유지할 수 있습니다. MDA-400M에는 더 큰 리소그래피 작업을 처리 할 수있는 독특한 4 가지 마스킹 장비가 있습니다. 이 도구에는 4 개의 마스크 로딩 챔버가 장착되어 있으며, 각각 한 번에 최대 5 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '를 엇갈린" 시퀀스' 로 적재 하여 "패턴 '을 기판 으로 옮기는 데 필요 한 시간 을 줄일 수 있다. 이 마스크 정렬 장치 (Mask Aligner) 에는 CCD 비전 정렬 시스템 (CCD Vision Alignment System) 이 있는데, 이는 패턴 노출의 정확성과 이미지를 정확하고 빠르게 초점을 맞출 수있는 현미경 및 레이저 소스 선택을 보장하는 카메라 장치입니다. 또한 레이저 소스에는 기판 표면이 변함에 따라 초점 레벨을 조정하는 3 차원 자동 초점 (automatic focus) 피쳐가 있습니다. 이를 통해 정확한 노출 및 반복 가능성을 유지할 수 있습니다. 또한 MDA 400 M 은 고급 레시피 관리 머신 (recipe management machine) 을 통해 제조 프로세스를 간소화하여 일관된 패턴화 및 재생산을 지원합니다. 직관적 인 터치 스크린 그래픽과 사용자 친화적 인 작동으로, 이 기계는 다른 마스크 정렬기 (mask aligner) 간에 레시피를 교환 할 수 있습니다. 전체적으로 MIDAS MDA-400M은 반도체 제조 및 기타 정밀 석판화 응용 분야에 이상적인 마스크 정렬기입니다. 매우 빠르고 정확하며, 능률적인 작동으로 효율적이고 사용하기 쉽습니다 (영문).
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