판매용 중고 MIDAS MDA-400LJ #9094346

미다스 MDA-400LJ (MIDAS MDA-400LJ) 는 마이크로패브라이션 응용 프로그램에 사용되는 플랫 마스크의 정렬 및 노출을 위해 특별히 설계된 고정밀 마스크 정렬기입니다. 이 장치는 단일 또는 다중 플랫 마스크 패턴 플레이트, 엑시머 레이저 광원 (excimer laser light source) 및 3축 선형 모터 구동 시스템을 지원하는 기판 홀더로 구성됩니다. "레이저 '광원 을 사용 하여 선정 된 용량 으로" 패턴' 판 을 조사 할 수 있다. 3 축 선형 모터 시스템 (3-axis linear motor system) 은 패턴 플레이트와 기판 홀더 사이의 거리를 정확하게 제어하기 위해 사용되므로 장치의 두 요소 사이에 완벽한 정렬이 가능합니다. 기판 홀더는 노출을 위해 기판을 정확하게 정렬하는 광학 인코더 (optical encoder) 에 의해 구동됩니다. 인코더는 참조 위치를 기준으로 패턴 플레이트와 기판 사이의 거리를 측정합니다. 이 거리는 X, Y, Z 축의 교차점으로 정의됩니다. 그런 다음, 기판 을 정확 하게 정렬 하기 위하여 "패턴 '판 의 위치 를 조정 하기 위해 장치 는 이 정보 를 사용 한다. MDA-400LJ는 해상도 0.2 äm의 X-Y 테이블을 갖추고 있으며, 기판 홀더의 움직임을 정확하게 제어하고 필요에 따라 위치를 조정할 수 있습니다. 또한이 장치는 통합 선형 인코더 (linear encoder) 를 제공하여 노출 중 기판 위치의 안정성이 매우 높습니다. 또한, 이 장치는 인접한 마스크 사이의 피치 오류를 줄여 초미세 패턴 등록을 보장하는 고해상도 레티클 (reticle) 을 제공합니다. 이 장치는 신뢰성이 높으며, 다양한 온도 범위에서 반복적으로 작동하도록 설계되었습니다. 또한, MIDAS MDA-400LJ는 자동 마스크 로더 시스템과 통합되어 장치가 연속 작동 모드로 작동 할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장치에는 또한 다양한 안전 (Safety) 기능이 장착되어 있으며 AC 또는 DC 전원으로 전원을 공급할 수 있습니다. 전반적으로, MDA-400LJ는 많은 microfabrication 응용 프로그램에 적합한 훌륭한 마스크 정렬 자입니다. 안전성 뿐 아니라 고도의 정밀도 (High Precision) 기능과 안정성 (Stability) 은 마이크로패브라이션 (Microfabrication) 공정의 마스크 정렬 및 노출에 이상적인 장치입니다.